激光二极管(Laser diode,LD)和笔直腔面发射激光器(Vertical Cavity Surface Emitting Laser,VCSEL)在光通信、光谱学和其他许多重要使用中是两种首要的元器材。跟着对上述使用的需求的增加,对这两类根本元件的需求也随之增加,这就要求人们愈加注重于开发准确且本钱经济性好的出产测验战略。
典型的激光二极管模组由一个激光二极管和背光勘探二极管组成。带温控的激光二极管模组还能够包含一个半导体制冷器(thermoelectric controller,TEC)和一个热敏电阻以便对激光二极管工作温度进行准确调理,如图1所示。(别的,在高速激光二极管模组中还包含一个集成的调制器芯片,未在图1中示出)。
图1. 典型激光二极管模组
图2. 简化的笔直腔面发射激光器结构(来历:Kartalopoulos)
比较于规范的激光二极管,笔直腔面发射激光器VCSEL具有更为杂乱的半导体结构,但其封装结构一般更为简略。典型VCSEL结构的剖面图如图2所示。不同于边际发射激光二极管,VCSEL可完结晶圆级测验,这一特色一起为VCSEL的测验供给了机会和应战,鄙人面部分将对其进行讨论。
需求记住的是,不管这两种器材中的哪一种,都需求多步工序完结制作。制作中的每一个工艺过程本质上关乎器材价值的增加,这决议了人们要在履行下一步拼装工艺之前进行元器材测验。例如,因为背光勘探二极管失效导致整个激光二极管模组作废的本钱,要远高于在拼装前对光电二极管进行彻底测验的本钱。快速灵敏的测验计划关于减小测验的本钱至关重要。
在本文中,具体介绍了几种能够满意如今出产环境中高通量要求的、高本钱效益的直流测验体系。