热敏电阻测验
典型的激光二极管模组中,热敏电阻在25℃下的标称阻值为10kΩ。在惯例作业形式中,整个模组的热稳定性要比其绝对温度值更为要害。
一系列测验热敏电阻的技能如下:
1、坚持激光二极管模组的温度在一个已知温度上,简略丈量热敏电阻的阻值;
2、将一个特性现已测出的热敏电阻热耦合到激光二极管模组上,使整个拼装体到达热平衡,比较特性已知热敏电阻与激光二极管热敏电阻的阻值;
3、在制作过程中,设定一个足以包括激光二极管模组温度的阻值规模。为了防止热敏电阻的自加热效应,需求坚持最小的功耗。一般地,供给10μA~100μA的恒定电流,测得的电压用于推导电阻值。
晶圆测验
VCSEL是仅有的一种进行晶圆级测验的激光器材。图1示出了片上VCSEL测验的简略测验体系。晶圆探针台经过探针卡与每个器材完成电学衔接。探针台也可直接定位器材上的光学探测器。随后,运用单台2602双通道源表进行特性丈量。
图1. 2602 VCSEL片上测验典型框图
假如探针卡能够一起与多个器材衔接,每次探针卡与晶圆触摸,类似于图1所示的体系能够测验片上的一切器材。因为片上器材数量巨大,选用扫描测验计划会十分耗时。关于要求高吞吐量的使用,用多个设备并行进行多个器材的测验往往是最优的测验计划。关于扩展的测验计划,能够参阅下面末节中评论的多路技能以及并行设备装备。