超快I-V源和丈量技能跟着越来越多传统直流I-V丈量功用的消失而迅速开展。注意到，传统SMU规划[1]能够供给和丈量最高约1A的电流，最低约1皮安的电流。虽然添加长途前置放大器后最低能够解析0.1fA的电流信号，可是这些只支撑直流I-V丈量的体系装备最佳速度仅为10毫秒。相比之下，超快I-V丈量计划能够进行最快10ns的丈量，这关于触及器材恢复时间特征剖析的使用是非常要害的。专门针对超快I-V测验而规划的可选的长途放大器将这些新式丈量计划的电流分辨率向下扩展到几十皮安，只是稍高于待测器材产生的约翰逊噪声[2]决议的极限值。在单个机架内集成了超快I-V源和丈量仪器与长途放大器的体系支撑的特征剖析使用比以往任何时候都愈加广泛，包括相变存储器器材测验、单脉冲电荷抓获/高k介质测验、LDMOS或砷化镓中功率放大器器材特征剖析、SOI恒温测验、超快负偏温不安稳性（NBTI）测验、根据电荷的电容丈量（CBCM[3]）、MEMS电容测验和越来越多的其它一些测验。
图3给出了支撑越来越多的超快I-V使用的四种扫描类型：瞬态I-V扫描，其间对电压和电流进行了接连数字化；快速脉冲式I-V测验，其间是在脉冲安稳之后对电压和/电流进行了采样；滤波式脉冲，其间产生一个改变的脉冲电压一起用一台直流SMU丈量产生的电流；脉冲应力/直流丈量，其间产生脉冲式电压，紧接着直流SMU丈量。除了这些传统的扫描类型，4225-PMU[4]还具有完好的恣意波形产生功用以及Segment ARB®形式，能够非常方便地构建、存储和产生最多包括2048条用户自定义线段的波形。每条线段能够有不同的持续时间，这一特性使其具有超卓的波形产生灵活性。
瞬态I-V、快速脉冲I-V、脉冲产生器、脉冲产生器、滤波脉冲、脉冲应力/丈量直流
图3.超快I-V测验装备
结语
跟着新式器材与测验使用的呈现以及半导体试验研讨需求的不断开展，超高速源/丈量功用将变得越来越重要。能够习惯这些改变的需求，具有杰出性价比和灵活性的测验体系不光可使研讨人员连续曾经的作业，并且能够跟上丈量技能的开展。
