硅片厚薄不均预防措施
1、TV偏大或偏小:依据客户要求片厚,计算出最佳本钱/质量的槽距,钢线,碳化硅,砂浆密度。
2、TTV》15mm的硅片占比超越0.62%,归于反常。关于一次切开的单位,应添加导向条(部位不供给),两次切开的单位最好把导轮(主辊)槽距改一下或第2次切开时砂浆流量增大500公斤/小时(5l/min)或多替换20公斤砂浆。
3、硅片的进刀处的进线端(角)偏薄或偏厚,应修正进刀时的砂浆流量
4、同一个硅片的厚度呈大-小-大-小散布的,应调整切开工艺程序。进给,线速,流量应均匀同步改变。
5、跳线引起的某刀硅片厚度反常,同一个片的厚度反常,不同片子的厚度偏差等,因经过加过滤网/过滤袋/振动过滤器和切开前细心过滤,没有跳线来消除。