MEMS传感器
是在微电子技能基础上开展起来的多学科穿插的前沿研讨范畴。经过四十多年的开展，已成为国际注目的严重科技范畴之一。它触及电子、机械、资料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技能，具有宽广的运用远景。
医疗
MEMS传感器运用于无创胎心检测，检测胎儿心率是一项技能性很强的作业，由于胎儿心率很快，在每分钟l20～160次之间，用传统的听诊器乃至只要扩大效果的超声多普勒仪，用人工计数很难丈量准确。而具有数字显现功用的超声多普勒胎心监护仪，价格昂贵，仅为少量大医院运用，在中、小型医院及广阔的农村地区无法遍及。此外，超声振荡波效果于胎儿，会对胎儿发生很大的晦气效果。虽然检测剂量很低，也归于有损勘探范畴，不适于经常性、重复性的查看及家庭运用。
根据VTI公司的MEMS加速度传感器，提出一种无创胎心检测办法，研发出一种简略易学、直观准确的介于胎心听诊器和多普勒胎儿监护仪之间的临床确诊和孕妈妈自检的医疗辅佐仪器。经过加速度传感器将胎儿心率转换成模仿电压信号，经前置扩大用的仪器扩大器完结差值扩大。然后进行滤波等一系列中心信号处理，用A/D转换器将模仿电压信号转换成数字信号。经过光阻隔器材输入到单片机进行剖析处理，最终输出处理成果。
根据MEMS加速度传感器规划的胎儿心率检测仪在恰当改善后能够以此为终端，做一个长途胎心监护体系。医院端的中心信号收集剖析监护主机给出自动剖析成果，医师对该成果进行确诊，如果有问题及时告诉孕妈妈到医院来。该技能有利于孕妈妈随时查看胎儿的情况，有利于胎儿和孕妈妈的健康。
轿车电子
MEMS压力传感器首要运用在丈量气囊压力、燃油压力、发动机机油压力、进气管道压力及轮胎压力。这种传感器用单晶硅作资料，以选用MEMS技能在资料中心制作成力敏膜片，然后在膜片上分散杂质构成四只应变电阻，再以惠斯顿电桥方法将应变电阻连接成电路，来取得高灵敏度。车用MEMS压力传感器有电容式、压阻式、差动变压器式、声表面波式等几种常见的方法。而MEMS加速度计的原理是根据牛顿的经典力学规律，一般由悬挂体系和检测质量组成，经过微硅质量块的偏移完结对加速度的检测，首要用于轿车安全气囊体系、防滑体系、轿车导航体系和防盗体系等，除了有电容式、压阻式以外，MEMS加速度计还有压电式、地道电流型、谐振式和热电偶式等方法。其间，电容式MEMS加速度计具有灵敏度高、受温度影响极小等特色，是MEMS微加速度计中的主流产品。
微陀螺仪是一种角速率传感器，首要用于轿车导航的GPS信号补偿和轿车底盘控制体系，首要有振荡式、转子式等几种。运用最多的归于振荡陀螺仪，它使用单晶硅或多晶硅的振荡质量块在被基座带动旋转时发生的哥氏效应来感测角速度。例如轿车在转弯时，体系经过陀螺仪丈量角速度来指示方向盘的滚动是否到位，自动在内侧或许外侧车轮上加上恰当的制动以避免轿车脱离车道，一般，它与低加速度计一同构成自动控制体系。
运动追寻体系
在运发动的日常练习中，MEMS传感器能够用来进行3D人体运动丈量，对每一个动作进行记载，教练们对成果剖析，重复比较，以便进步运发动的成果。跟着MEMS技能的进一步开展，MEMS传感器的价格也会跟着下降，这在群众健身房中也能够广泛运用。在滑雪方面，3D运动追寻中的压力传感器、加速度传感器、陀螺仪以及GPS能够让运用者取得极准确的调查才能，除了可提供滑雪板的移动数据外，还能够记载运用者的方位和间隔。在冲浪方面也是如此，安装在冲浪板上的3D运动追寻，能够记载波浪高度、速度、冲浪时刻、浆板间隔、水温以及耗费的热量等信息。
手机摄影范畴
在MEMS
Drive呈现之前，手机摄像头首要由音圈马达移动镜头组的方法完结防抖(简称镜头防抖技能)，遭到很大的限制。而另一个在市场上较高端的防抖技能：多轴防抖，则是使用移动图画传感器(Image
Sensor)补偿颤动，但由于这个技能体积巨大、耗电量超出手机载荷，一向无法在手机上运用。
凭着微机电在体积和功耗上的打破，最新技能MEMS Drive相似一张贴在图画传感器反面的平面马达，带动图画传感器在三个旋转轴移动。MEMS Drive
的防抖技能是透过陀螺仪感知摄影过程中的瞬间颤动，依托精细算法，计算出马达应做的移动起伏并做出快速补偿。这一系列动作都要在百分之一秒内做完，你得到的图画才不会由于颤动含糊掉。
现在，全国际有大约600余家单位从事MEMS的研发和出产作业，已研发出包含微型压力传感器、加速度传感器、微喷墨打印头、数字微镜显现器在内的几百种产品，其间MEMS传感器占相当大的份额。MEMS传感器是选用微电子和微机械加工技能制造出来的新式传感器。与传统的传感器比较，它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化出产、易于集成和完结智能化的特色。一起，在微米量级的特征尺度使得它能够完结某些传统机械传感器所不能完结的功用。
