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半导体技能和才能的前进为工业使用（特别是状况监控处理方案）检测、丈量、解读、剖析数据供给了新的时机。根据MEMS 技能的新一代传感器与确诊猜测使用的先进算法相结合，扩展了丈量各种机器和进步才能的时机，有助于高效监控设备，延伸正常运转时刻，增强进程质量，进步产值。
T为了完成这些新才能并取得状况监控的好处，新处理方案有必要精确、牢靠、稳健，以便实时监控能够扩展到对潜在设备毛病的根本检测之外，供给赋有洞察力和可操作的信息。新一代技能的性能与体系级洞察力相结合，有助于人们更深化地了解处理这些应战所需的使用和要求。
振荡是机器确诊的要害要素之一，已被牢靠地运用于监控各种工业使用中的最要害设备。有许多文献来支撑完成高档振荡监控处理方案所需的各种确诊和猜测才能。可是，关于振荡传感器性能参数（如带宽和噪声密度）与终究使用毛病确诊才能之间联系的文献则不是许多。本文介绍工业自动化使用中的首要机器毛病类型，并确认了与特定毛病相关的振荡传感器要害性能参数。
下面要点介绍几种常见毛病类型及其特性，以便深化了解开发状况监控处理方案时有必要考虑的一些要害体系要求。所述毛病类型包含但不限于不平衡、未对准、齿轮毛病和滚动轴承缺点。
不平衡
什么是不平衡，什么原因导致不平衡？
不平衡是指质量散布不均匀，会导致载荷使质心违背旋转中心。体系不平衡可归因于装置不妥（例如联轴器偏疼）、体系规划过错、部件毛病，乃至碎屑或其他污染物的累积。举例来说，大多数感应电机内置的散热电扇或许因为尘埃和油脂的不均匀积累或扇叶损坏而变得不平衡。
为什么不平衡体系是一个问题？
不平衡体系会发生过大振荡，这些振荡会机械耦合到体系内的其他部件，如轴承、联轴器和负载，从而或许导致处于杰出运转状况的部件加快劣化。
怎么检测和确诊不平衡
全体体系振荡添加或许标明存在由不平衡体系引起的潜在毛病，但振荡添加的根本原因需求经过频域剖析来确诊。不平衡体系以体系的旋转速率（一般称为1×）发生一个信号，其起伏与旋转速率的平方成份额，F = m × w2。1×重量在频域中一般总是存在，因而，经过丈量1x和谐波的起伏能够辨认不平衡体系。假如1×的起伏高于基线丈量且谐波远小于1×，则很或许存在不平衡体系。水平缓笔直相移振荡重量也或许出现在不平衡体系中1。
确诊不平衡体系时须考虑哪些体系标准？
噪声有必要很低，以便下降传感器的影响并支撑检测由不平衡体系发生的小信号。这关于传感器、信号调度和收集渠道非常重要。
为了检测细小的不平衡，收集体系需求有满足高的分辨率来提取信号（尤其是基线信号）。
别的还需求满足的带宽来捕获充沛的信息（不光是旋转速率），以进步确诊的精确性和牢靠性。1×谐波或许受其他体系毛病的影响，例如未对准或机械松动，因而剖析旋转速率（或1×频率）的谐波能够协助区别体系噪声和其他潜在毛病1。用于慢速旋转机器，根本旋转速率或许远低于10 rpm，这意味着传感器的低频呼应关于捕获根本旋转速率至关重要。ADI公司的MEMS传感器技能能够检测低至直流的信号，并能够丈量较慢的旋转设备，一起还能丈量宽带宽，以取得一般与轴承和齿轮箱缺点相关的更高频率内容。
