MEMS传感器即微机电体系（Micro-electroMechanicalSystems），是选用微电子和微机械加工技能制作出来的新式传感器。与传统的传感器比较，具有体积小、成本低、功耗低、可靠性高、易于集成等特色。欧姆龙MEMS流量传感器，选用其首创的高精度加工技能，将流量传感器中心器材封装在尺度仅为1.5*1.55*0.4mm的MEMS芯片里边。这种超精密的MEMS传感器，不但能检测1毫米/秒的气体流速改变，还能高精度地完成大批量出产。
流量传感器内部结构
这种传感器芯片选用运用热线的质量流量检测方法。其芯片中心具有加热器，上游侧的热电堆（A）及下流侧热电堆（B）装备在加热器的两边，热电堆邻近装备有基座测温体，它们均是选用半导体工艺制作的。加热器和热电堆列组的底部构成空腔，使得热电堆可高效检测加热器的热量。
流量传感器的检测原理
经过给MEMS芯片加稳定电流，使芯片中心的加热器发生热量。没有风经过期，加热器上游热电堆和下流热电堆因为热平衡的联系，两者对应的热电动势电压持平，即Vu=Vd。当有气体活动时，热源随气流方向向下流搬运，此刻下流热电堆的电动势变大，即Vd＞Vu。两个热电堆的输出差大致与经过传感器外表的气体质量流量的平方根成正比。输出灵敏度和质量流量取决于气体的组成比。细小的信号能够经过扩大电路进行扩大，再以电子方法检测气体流量。风量传感器经调整后输出的电压与质量流量为25°C、101.3kPa时的流速适当。
流量传感器的使用
阻塞检测—投影仪、PC机、服务器
焚烧操控—燃料电池、热水器、锅炉
风量检测—管道、气流丈量、空调
加料速率操控—麻醉仪、制氧机
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