微压传感器在测量进程中，压力直接效果在传感器的膜片上，使膜片发生与介质压力成正比的微位移，使传感器的电阻发生改动，一起通过电子线路检查这一改动，并转换输出一个对应于这个压力的标准信号，这么的进程就是微压传感器进行测量的进程。
关于微压传感器来说，活络度和线性度是微压力传感器最首要的两特功用政策。为了制造出可以满足实习运用需求的传感器，必需探求出一种微压力传感器活络度和线性度的有用仿真方法。实习的研讨中，发现一种根据对压阻式压力传感器薄膜表面应力的有限元分析（FEA）和途径积分的仿真方法。通过这一方法完毕了在满量程计划内不一样压力值下对传感器电压输出值的精确估计，在此基础上对压力传感器的活络度和线性度进行了有用仿真。
微压传感器翻开活络，新研宣告的一类传感器选用压电单晶片结构，并内置前置拓展器，通过拓展器拓展微小信号并完毕阻抗转换，然后使传感用具有量程小、活络度高、抗干扰性好等特征。这类传感器已广泛用于脉搏、管壁压力不坚决等纤细信号的检查。但与此一起，关于微压传感器精准度的查验这一技术难题，就火燎需求简练的测量设备测量该类型传感器的功用。
为了处理微压力传感器活络度和非线性的敌对，在结构上，归纳梁膜结构与平膜双岛结构的利益，选用双岛-梁结构。岛区的面积不是按比例拓展或减小。首要，为了增加活络度，应尽或许减小窄梁区的长度和宽度。因为从对“梁-膜-岛”结构的有限元分析和近似解析分析中发现，减小窄梁区的长度和宽度可以明显地使梁上的应力增大。并且当基地窄梁的长度约为两端窄梁长度的2倍时，器件的线性度最佳。虽然有双岛限位结构，但在高过载情况下，硅膜将首要从岛的边区和角差异裂。这是因为传统的岛膜结构都是选用常规的有掩模的各向异性湿法腐蚀，从硅片欠好构成硅膜和背岛。硅膜是晶面，边框和背大岛周围面都是晶面，夹角为54.74°的锐角。根据力学原理，在角区存在应力会集效应，使硅膜在正面或欠好受压往后，角区会具有应力的极值，因此分裂首要从该处发生。引入应力匀散结构往后，使角区成为具有必定曲率的圆角区，使该区的应力极值下降。在硅膜与边框或背岛的交界处要构成有必定曲率半经的缓变结构，选用一般的常规各向异性湿法腐蚀是无法完毕的。为此，选用了掩模-无掩模各向异性湿法腐蚀技术。
