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金属氧化物膜湿敏元件的结构及特色

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Fe2O3、Fe3O4、Cr2O3、Al2O3、Mg2O3及ZnO、TiO2,等金属氧化物的细粉,吸收水分后有极快的速干特性,

金属氧化物膜湿敏元件的结构及特色


Fe2O3、Fe3O4、Cr2O3、Al2O3、Mg2O3及ZnO、TIO2,等金属氧化物的细粉,吸收水分后有极快的速干特性,使用这种特性能够研发生产出多种金属氧化物膜湿敏元件。


金属氧化物膜湿敏元件的一般结构如图所示。在陶瓷基片上先制作成钮银梳状电极,然后选用丝网印刷、涂布或喷发等工艺办法,将调制好的糊状金属氧化物加工在陶瓷基片及电极上,选用烧结或烘干办法使之固化成膜。这种膜能够吸附或开释水分子而改动其电阻值,经过丈量电极间的电阻值即可检测相对湿度。


金属氧化物膜湿敏元件的特色是电阻的对数值与湿度呈线性关系,具有测验规模宽、呼应速度快、湿滞小和工作温度规模宽的长处,使用寿命大多在两年以上。   
 


 

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