静电计如何用恒流法丈量大于1GΩ的高电阻

选用恒流法，能够运用静电计电压表和电流源或许只运用静电计欧姆计来丈量高电阻。也能够运用具有高输入阻抗的电压表和微电流源的SMU来进行丈量。运用带有分立的电流源的静电计电压表或SMU时，用户能够进行四线丈量并操控流过样品的电流。静电计欧姆计根据丈量的量程，在规则的电流下，进行两线电阻丈量。

运用静电计电压表和外部电流源
恒流源法的根本电路装备如图2-31所示。电流源的电流（I）流过不知道电阻（R），并由静电计电压表丈量其电压降（V）。用这种办法能够丈量高达1012Ω的电阻。尽管根本办法看起 来十分简略，可是有必要采纳一些预防性的办法。电压表的输入阻抗与源电阻比较有必要足够高，以便使负载差错保持在能够承受的水平。一般静电计电压表的输入阻抗大约为1014Ω。并且，电流源的输出电阻有必要比不知道电阻大得多，才能使丈量为线性。样品两头的电压决定于样品的电阻，因此在运用恒流法时，难于考虑电压系数的问题。假如关怀电压系数，最好运用恒压法。静电计电压表和别离的电流源能够在选用四点探头法或van der Pauw法丈量半导体资料的高电阻率时运用。