Mic roVision 公司体系工程与先进运用部分总监Jari Honkanen，他向我介绍了MicroVision公司创造的令人称奇的MEMS移动镜技能。
图1：我手里捏着的便是单个微型MEMS扫描镜组件。
2016年末MicroVision公司和意法半导体公司宣告协作开发、出售和推行激光束扫描（LBS）技能。现在这两家公司正运用其LBS解决计划开发微型投影仪和平视显现器（HUD）商场，两家公司还有意进一步开发新式商场与运用，包括虚拟实际和增强实际（VR，AR）、3D检测以及先进驾驭辅佐体系（ADAS）。
别的，MicroVision和意法半导体还期望探究在未来的技能开发方面进行协作的计划，包括LBS产品联合路线图。这些协作将充沛整合意法半导体公司的工艺规划与制作特长和MicroVision公司的LBS体系与解决计划。
业界对用于ADAS的激光雷达技能趋之若骛
这是业界的热门话题，许多大公司都想从中分得一杯羹。英飞凌上一年经过收买Innoluce获得了激光雷达专用技能。ADI公司也从Vescent Photonics公司收买了LBS技能，以支撑干流轿车激光雷达体系的遍及。我期望未来会有更多同类的收买案发生，使这个商场炽热起来。
共同的MicroVision MEMS 扫描镜结构和作业原理
图2：MEMS镜组件中有一个反射镜悬浮在常平架（Gimbal Frame）内，常平架上有一个 微加工的通电线圈。MEMS裸片周围装置有永磁体，用于供给磁场。只要给MEMS线圈 施加一个电流，就能在常平架上发生一个磁力扭矩，并沿旋转轴的两个方向发生重量。
这种规划的一个要害特性是只要一个驱动信号输入到MEMS。为了发生双轴移动，笔直和水平移动的波形只需做简略的叠加。
图3：扭矩的一个重量使常平架绕其挠曲悬架旋转（左）；另一个重量则激起扫描镜谐振 形式的振荡，使反射镜绕常平架的挠曲悬架旋转（右）。
这种复合的镜驱动波形由60Hz笔直扫描锯齿波函数和激起水平扫描谐振的高频正弦波叠加而成（图4）。
图4：复合驱动波形。
两个所需扫描视点的方位反应是用压阻式（PZR）应变传感器发生的，应变传感器是经过微加工做到反射镜挠曲悬架和常平架挠曲悬架上的（图5）。
图5：图中所示的MEMS扫描镜裸片与用于笔直扫描方位反应的压阻式应变传感器 靠得很近。方位体系反应信号能够进步投影式显现器长期运用和在不同环境条件 下的稳定性。
红、蓝和绿色激光二极管与 MEMS扫描镜集成在一起构成一个紧凑的彩色显现引擎，如图6所示。扫描镜体系在规划中运用了MEMS和小型激光器，包括光源在内，整个体积不超越5cm3，高度仅6mm。
图6：包括MEMS扫描镜和激光光源的扫描引擎子体系。
PicoP激光束扫描技能作业原理
图7：PicoP扫描技能的作业原理。
当需求显现某种色彩的单个像素时， 体系中的激光器会翻开。若因为图画内容而不需运用三个激光器中的某一个时，可将其封闭，然后最大程度地减小功耗。
这个体系能够发生720p、1280&TImes;720的图形显现分辨率，亮度可达25lm，在1.1m的投影间隔上能够构成对角线尺度约为1m的图画。因而这种规划具有功耗低和体积小的特色。运用激光光源的别的一个优势是，图画在任何投影间隔点都处于聚集状况，不需求任何调整。运用激光光源还能给显现器供给很宽的色域，发生艳丽生动的色彩，如图8中的CIE色度图。
图8：激光光源能够供给很宽的色域，而且能够发生艳丽的色彩。
图9：显现引擎与视频和MEMS驱动电路集成在一起。这种体系构成了PicoP扫描引擎。
图10：依据MicroVision PicoP扫描技能的引擎。这个器材的体积比一个硬币大不了多少，但其将图画投影到任何外表而不失真的强壮功用令人称奇。它还能用作图画捕获器材。
扫描引擎由两个单元组成：
一体化光电模块（IPM）
电子渠道模块（EPM）
MicroVision公司的嵌入式解决计划收集和处理来自数据源的信号，用于对单个像素的色彩混合和布局进行操控和同步。经过改动每个激光光源的强度，能够构成一个色彩突变的完好调色板。微型投影仪中的MEMS 扫描镜将光束导向投影外表便是一个很好的比如（图11）。
在平视显现器中，专门的光部件将光束导向扫描引擎外部的光学器材，因而驾驭员能够在前向视界中直接看到图画。
图11：图中所示的红、蓝、绿激光光源能够发生简直一切可见可辨的色彩。MEMS扫描器运用这样的光源，能够发生总是处于聚集状况的亮堂的投影图画。
高清图画
为了构成艳丽的高清图画，这种嵌入式解决计划经过重复的水平与笔直扫描移动来摆放像素。这个进程能够发生丰厚的内容，但不会添加外形尺度（器材尺度）和功耗（图12）。
图12：生成光栅图形案的水平与笔直扫描移动。
MicroVision公司选用Honkanen 的技能，运用平视显现器叠层将要害信息投影到轿车挡风玻璃上作为驾驭场景的一部分，这样驾驭员的双眼不必脱离路面就能阅读到这些信息（图13）。在MEMS与传感器履行大会上，Honkanen演示了这一运用。
图13：平视显现器示例。
Honk anen还演示了怎么运用MicroVision公司装备了近红外（IR）激光器和红外光电探测器的激光束扫描技能开发依据MEMS的扫描式激光雷达体系。
图14：依据MEMS的扫描式激光雷达体系。
依据MEMS的扫描式激光雷达的优势是具有很高的水平与笔直分辨率， 而且能够动态改动检测分辨率和帧速率。依据详细的运用或驾驭状况，同一个扫描式激光雷达既能够完成慢速高分辨率的捕获，也能够完成快速低分辨率的捕获。
