压力传感器有哪几种
一、压电压力传感器
压电式压力传感器首要根据压电效应，运用电气元件和其他机械把待测的压力转化成为电量，再进行相关丈量作业的丈量精密仪器，比方许多压力变送器和压力传感器。压电传感器不可以运用在静态的丈量傍边，原因是遭到外力效果后的电荷，当回路有无限大的输入抗阻的时分，才可以得以保存下来。可是实践上并不是这样的。因而压电传感器只可以运用在动态的丈量傍边。它首要的压电资料是：磷酸二氢胺、酒石酸钾钠和石英。压电效应便是在石英上发现的。
二、压阻压力传感器
压阻压力传感器首要根据压阻效应，压阻效应是用来描绘资料在遭到机械式应力下所发作的电阻改动。不同于上述压电效应，压阻效应只发作阻抗改动，并不会发作电荷。大多数金属资料与半导体资料都被发现具有压阻效应。其间半导体资猜中的压阻效应远大于金属。因为硅是如今集成电路的首要，以硅制造而成的压阻性元件的运用就变得十分有意义。的电阻改动不单是来自与应力有关的几许形变，并且也来自资料自身与应力相关的电阻，这使得其程度因子大于金属数百倍之多。N型硅的电阻改动首要是因为其三个导带谷对的位移所构成不同迁移率的导带谷间的载子从头散布，然后使得电子在不同活动方向上的迁移率发作改动。其次是因为来自与导带谷形状的改动相关的等效质量的改动。在P型硅中，此现象变得更杂乱，并且也导致等效质量改动及电洞转化。
三、电容式压力传感器
电容式压力传感器是一种运用电容作为灵敏元件，将被测压力转化成电容值改动的压力传感器。这种压力传感器一般选用圆形金属薄膜或镀金属薄膜作为电容器的一个电极，当薄膜感触压力而变形时，薄膜与固定电极之间构成的电容量发作改动，经过丈量电路即可输出与电压成必定联系的电信号。电容式压力传感器归于极距改动型电容式传感器，可分为单电容式压力传感器和差动电容式压力传感器。
四、电磁压力传感器
首要包括电感压力传感器、霍尔压力传感器、电涡流压力传感器等。
1、电感压力传感器
①电感式压力传感器是因为磁性资料和磁导率不同，当压力效果于膜片时，气隙巨细发作改动，气隙的改动影响线圈电感的改动，处理电路可以把这个电感的改动转化成相应的信号输出，然后到达丈量压力的意图。该种压力传感器按磁路改动可以分为两种：变磁阻和变磁导。电感式压力传感器的长处在于灵敏度高、丈量规模大；缺陷便是不能运用于高频动态环境。
②变磁阻式压力传感器首要部件是铁芯跟膜片。它们跟之间的气隙构成了一个磁路。当有压力效果时，气隙巨细改动，即磁阻发作了改动。如果在铁芯线圈上加必定的电压，电流会跟着气隙的改动而改动，然后测出压力。
③在磁通密度高的场合，铁磁资料的导磁率不安稳，这种情况下可以选用变磁导式压力传感器丈量。变磁导式压力传感器用一个可移动的磁性元件替代铁芯，压力的改动导致磁性元件的移动，然后磁导率发作改动，由此得出压力值。
2、霍尔压力传感器
①霍尔压力传感器是根据某些半导体资料的霍尔效应制成的。霍尔效应是指当固体导体放置在一个磁场内，且有电流经过期，导体内的电荷载子遭到洛伦兹力而倾向一边，继而发作电压（霍尔电压）的现象。电压所引致的电场力会平衡洛伦兹力。经过霍尔电压的极性，可证实导体内部的电流是由带有负电荷的粒子（自由电子）之运动所构成。
②在导体上外加与电流方向笔直的磁场，会使得导线中的电子遭到洛伦兹力而集合，然后在电子集合的方向上发作一个电场，此电场将会使后来的电子遭到电力效果而平衡掉磁场构成的洛伦兹力，使得后来的电子能顺畅经过不会偏移，此称为霍尔效应。而发作的内建电压称为霍尔电压。
③当磁场为一交变磁场时，霍尔电动势也为同频率的交变电动势，树立霍尔电动势的时刻极短，故其呼应频率高。抱负霍尔元件的资料要求要有较高的电阻率及载流子迁移率，以便取得较大的霍尔电动势。常用霍尔元件的资料大都是半导体，包括N型硅（Si）、锑化铟（InSb）、砷化铟InAs）、锗（Ge）、砷化镓GaAs）及多层半导体质结构资料，N型硅的霍尔系数、温度安稳性和线性度均较好，砷化镓温漂小，现在运用。
3、电涡流压力传感器
根据电涡流效应的压力传感器。电涡流效应是由一个移动的磁场与金属导体相交，或是由移动的金属导体与磁场笔直交会所发作。简而言之，便是电磁感应效应所构成。这个动作发作了一个在导体内循环的电流。电涡流特性使电涡流检测具有零频率呼应等特性，因而电涡流压力传感器可用于静态力的检测。
五、振弦式压力传感器
振弦式压力传感器归于频率灵敏型传感器，这种频率丈量具有想当高的精确度，因为时刻和频率是能精确丈量的物理量参数，并且频率信号在传输过程中可以疏忽电缆的电阻、电感、电容等要素的影响。一起，振弦式压力传感器还具有较强的抗干扰才能，零点漂移小、温度特性好、结构简略、分辨率高、功能安稳，便于数据传输、处理和存储，简单完成外表数字化，所以振弦式压力传感器也可以作为传感技术发展的方向之一。
振弦式压力传感器的灵敏元件是拉紧的钢弦，灵敏元件的固有频率与拉紧力的巨细有关。弦的长度是固定的，弦的振荡频率改动量可用来测算拉力的巨细，即输入是力信号，输出的是频率信号。振弦式压力传感器分为上下两个部分组成，下部构件首要是灵敏元件组合体。上部构件是铝壳，包括一个电子模块和一个接线端子，分红两个小室放置，这样在接线时就不会影响电子模块室的密封性。
压力传感器参数
1.温度规模
压力传感器的温度规模分为补偿温度规模和作业温度规模。补偿温度规模是因为施加了温度补偿，精度进入额外规模内的温度规模。作业温度规模是确保压力传感器能正常作业的温度规模。
2.压力迟滞
为在室温下及作业压力规模内，从小作业压力和作业压力趋近某- -压力时，传感器输出之差。
3.线性度
线性度是指在作业压力规模内，传感器输出与压力之间直线联系的违背。
4.额外压力规模
额外压力规模是满意规范规定值的压力规模。也便是在和低温度之间，传感器输出符合规定作业特性的压力规模。在实践运用时传感器所测压力在该规模之内。
5.压力规模
压力规模是指传感器能长时刻接受的压力，且不引起输出特性性改动。特别是半导体压力传感器，为进步线性和温度特性，-般都大幅度减小额外压力规模。因而，即便在额外压力以上接连运用也不会被损坏。一般压力是额外压力值的2 – 3倍。
6.损坏压力
损坏压力是指可以加在传感器上且不使传感器元件或传感器外壳损坏的压力。
