设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”，上交所股票代码：688012）今天宣告推出Prismo HiT3TM MOCVD设备，首要用于深紫外LED量产。
中微Prismo系列MOCVD设备现在已进入全球大多数抢先的蓝绿光LED制作商，此次推出的Prismo HiT3TM是中微Prismo系列MOCVD设备的最新产品。该设备是适用于高质量氮化铝和高铝组分资料成长的关键设备，反响腔最高温度可达1400度，具有优异的工艺重复性、均匀性和低缺点率。该设备一起也为高产量而规划，单炉可成长18片2英寸外延晶片，并可延伸到成长4英寸晶片。
中微公司Prismo HiT3TM MOCVD设备前期的客户包含国内抢先的深紫外LED制作商马鞍山杰生半导体有限公司，该公司的深紫外LED在家用、医疗和科研设备等范畴有广泛使用。
深紫外光几十年前就被使用于工业和民用消毒灭菌范畴。它经过损坏细菌和病毒的DNA使其损失繁衍才能来发挥作用。深紫外LED被用于不同波长的灭菌灯中，且与传统的汞灯相比对环境无污染。相似SARS、MERS和新冠病毒的呈现使得深紫外LED产品的需求激增，深紫外LED产品可以消除这些重生微生物。波长260-280nm的UVC波段的深紫外光便是现在该范畴最先进的技能解决方案（例如杰生半导体的深紫外LED产品）。
中微公司规划的Prismo HiT3TM MOCVD设备具有新颖的腔体规划，能在高温环境下成长高质量氮化铝工艺，并具有业界抢先的深紫外LED高产出率；一起具有较长的均匀免开腔保护间隔时刻，进一步延伸正常运转时刻并提高产能。真空自动化传输体系可以按捺颗粒物的发生，并削减缺点。自动化升降组织可便利保护操作并有用节约保护时刻。
“咱们现在现已看到了深紫外LED带来的实在优点，它已成为消除有害病原体的重要东西。”杰生半导体有限公司董事长健康说道，“跟着深紫外LED技能的持续发展，咱们为可以在公共和家庭消毒产品范畴处于抢先地位而感到骄傲。中微公司规划的Prismo HiT3TM MOCVD设备可以满意深紫外LED大批量、低生产本钱的制作需求。中微公司凭仗其国际一流的工艺特长和高功能的MOCVD设备解决方案，是值得信任的合作伙伴。”
“中微自主研制的Prismo HiT3TM MOCVD设备连续了咱们现有Prismo渠道已验证的首要立异功用，并提升了可在高温工艺环境下成长氮化铝基资料的功能，使之拓宽到深紫外LED的使用。”中微公司执行副总裁兼首席运营官杜志游博士说道，“杰生半导体一直致力于持续发展LED技能并发明有益于人类健康的产品，咱们很快乐杰生成为咱们的前期用户，一起也很侥幸咱们的设备解决方案可以助力客户研制下一代深紫外LED产品，并在技能研制和本钱操控上协助客户达到方针。”
Prismo HiT3TM是中微公司的注册商标。
