摘要 文中针对关于一种厚膜混合集成自激振动电路进行了理论剖析，并对批量化继续改善进程的技能作出了总结。介绍了该产品的电路、结构及失效产品的原因和解决方案，并进一步证明了自激振动电路批产化和高牢靠的规划准则，一起也对传感器职业特色及其发展方向进行了相关讨论。
关键词 自激振动电路；厚膜混合集成；产品牢靠性
厚膜混合集成自激振动电路适用于加速度计，能与石英振梁配套，组成一种新式固态化、数字输出的加速度传感器。输出的频率信号完全由数字电路处理，无需进行A／D转化，一起可直接被导航计算机运用，然后消除了转化差错。
该加速度计量程大、体积小、精度高、功耗低、发动时间短、牢靠性高且具有较高的分辨率，使用远景宽广。可广泛使用于车辆导航、帆海导航、空间微动力丈量、井孔地层密度丈量、当地的重力测绘、地震监督以及火山爆发监测等范畴。
1 产品描述和剖析
该产品归于厚膜混合集成电路，交付运用后，还需二次拼装，与石英振梁等结合组成用户所需的各种加速度计专用电路。
因为石英振梁加速度计的底座与用户封装管帽的装置要求较高，所以用户对外形尺寸提出了详细的要求：封装方式选用圆形直插式金属外壳，壳体镀镍，引线镀金，上下均有引出线，上引出线用作与外接温度传感器互连，下引出线主要是输入输出端子，上外表陶瓷盖板高温黏接，最终用户封装后，构成密封结构的产品。
产品内部，主要有3路方波振动器，经过外接温度传感器完成输出频率为25～45 kHz的方波。
该产品线路上选用多反向器完成了多谐振动，发生方波；工艺方面选用厚膜电阻、半导体反向器芯片、0603封装片电容以及金导体细线成膜工艺，大都元器件选用导电胶粘接。
