跟着商场的持续增长，led制作业关于产能和制品率的要求变得越来越高。激光加工技能敏捷成为LED制作业遍及的东西，甚者成为了高亮度LED晶圆加工的工业规范。
激光刻划LED刻划线条较传统的机械刻划窄得多，所以使得资料利用率显着进步，因此进步产出功率。别的激光加工对错触摸式工艺，刻划带来晶圆微裂纹以及其他损害更小，这就使得晶圆颗粒之间更严密，产出功率高、产能高，一起制品LED器材的牢靠性也大大进步。
Spectra-Physics工业激光器具有高峰值功率以及杰出的光束质量等优势，是LED加工的抱负东西，为LED工业带来洁净的刻划线条、更高的产能以及制品LED更高的亮度。
激光刻划的优势
- 能够洁净规整的刻划硬脆性资料
- 非触摸式工艺低运营本钱
- 削减崩边、微裂纹、分层等缺点的呈现
- 刻划线条窄进步了单片晶圆上的分粒数量
- 削减微裂纹进步了制品LED器材的长时刻牢靠性
- 大范围的加工容差使得工艺可控性杰出，是低本钱高牢靠性的工艺。
二、LED激光刻划概述
单晶蓝宝石（Sapphire）与氮化镓（GaN）归于硬脆性资料（抗拉强度挨近钢铁），因此很难被切开分红单体的LED器材。选用传统的机械锯片切开这些资料时简略带来晶圆崩边、微裂纹、分层等损害，所以选用锯片切开LED 晶圆，单体之间有必要保存较宽的宽度才干防止切开开裂伤及LED器材，这样就很大程度上降低了LED晶圆的产出功率。
激光加工对错触摸式加工，作为传统机械锯片切开的代替工艺，激光划片切断十分小，聚集后的激光微细光斑作用的晶圆外表敏捷气化资料，在LED有源区之间制作十分细微的切断，然后能够在有限面积的晶圆上面切开出更多LED单体。激光刻划对砷化镓（GaAS）以及其他脆性化合物半导体晶圆资料尤为拿手。激光加工LED晶圆，典型的刻划深度为衬底厚度的1/3到1/2这样切开就能够得到洁净的开裂面，制作窄而深的激光刻划裂缝一起要确保高速的描写速度这就要求激光器具有窄脉宽、高光束质量、高峰值功率、高重复频率等优秀质量。
并不是一切的激光均合适LED刻划，原因在于晶圆资料关于可见光波长激光的透射性。GaN关于波长小于365nm的光是透射的，而蓝宝石晶圆关于波长大于177nm的激光是半透射的，因此波长为355nm和266nm的三、四倍频的调Q全固态激光器（DPSSL）是LED晶圆激光刻划的最佳挑选。虽然准分子激光器也能够完成LED刻划所需的波长，可是倍频的全固态调Q激光器体积更小，较准分子激光器保护少得多，质量方面全固激光器刻划线条十分窄，更合适于激光LED刻划。
激光刻划使得晶圆微裂纹以及微裂纹扩张大大削减， LED单体之间间隔更近，这样既进步了出产功率也进步了产能。一般来讲，2英寸的晶圆能够别离出20，000个以上的LED单体器材，如此高的密度，因此切开的切缝宽度就会显着影响分粒数量，削减微裂纹关于分粒后的LED器材的长时刻牢靠性也会有显着的进步。激光刻划较传统的刀片切开不光进步了产出功率，一起进步了加工速度，防止的刀片磨损带来的加工缺点与本钱损耗，总归激光加工精度高，加工容差大，本钱低。
DPSS全固态激光器的要害商场要求
- 高牢靠性
- 长接连运转时刻
- 一键敞开参数优化的激光LED刻划工艺
–266nm 全固激光器用于LED晶圆正面刻划
–355nm用于反面刻划
- 全球化服务、技能支持网络
- 短脉冲宽度高峰值功率以到达深度刻划，热损害最小化
- 优质的光束质量以到达刻划宽度最小
- 激光器供货商具有雄厚的运用开发实力和经历
三、Spectra-Physics（光谱物理）激光器概述
长时刻以来，光谱-物理一向被是激光技能领域服务全球客户领导者。50年的开展进程光谱-物理规划、研制、制作了一系列国际首台商用激光器用于工业商场，其间包含LED激光刻划用的激光器。
整体来讲，激光用于LED的刻划优势是清晰的，不过也面临着许多技能应战，比方不同资料、厚度、不同事例的刻划速度等带来的差异。为此光谱-物理供给多个系列用于激光刻划、分粒的激光器产品，是这方面工业加工的领导者，不断推出立异的高精度激光器，例如Tristar TM， Navigator TM， HIPPOTM等系列高功率纳秒激光器产品，以及Vanguard TM系列皮秒激光器。假如需求用到飞秒激光器，光谱-物理的SolsTIce？激光器能够供给100fs全自动的飞秒脉冲激光，产品专为工业运用规划，巩固牢靠。
当短脉冲高峰值功率的光谱-物理激光器作用于LED衬底刻划，作用作用是：刻划线条洁净，资料方位移动小，对衬底的热效应损害十分小。光谱-物理为您供给更深层次的运用常识、经历帮助您的工艺完成最佳作用。
咱们的技能、经历以及立异精力使咱们激光器与众不同。光谱-物理全固态激光器选用的ProLite？ 二极管泵浦源具有工业界领导地位，其寿数是竞争对手产品的两倍。此外光谱-物理的EternAlign TM 光学器材装乘技能确保了激光器整个寿数期间表里杰出的光学对准性。
光谱-物理共同的腔外倍频技能是全固体Q激光里边的最高质量。别的激光器要害器材比如泵浦二极管、光纤、shutter、输出窗口等是能够简略的现场修理替换的，这就使得光谱-物理全固态激光器接连运转时刻以及均匀修理时刻（MTTR）成倍的延伸，把您的运用、保护本钱将为最低。为您供给的每一台光谱-物理激光器背面都有Newport全球激光器服务于技能支持团队的坚实决心和确保。
Spectra-Physics光谱-物理激光器的优势
- 长接连作业时刻–源自于产品的高牢靠性、优秀的规划与技能支持
- 泵浦二极管寿数–二倍于工业激光器泵浦二极管的均匀寿数
- 技能支持–全球的技能支持售后服务网络面向于大面积装机量供给优质服务
- 商场验证–不计其数的已装机光谱-物理激光器证明了24/7的工业运用状态下激光器优秀的作业功能。
- 短脉冲宽度–意味着更高的峰值功率和最小化的热影响区域
- 近乎完美的光束质量–刻划宽度更窄
- 更优质的脉冲-脉冲能量安稳度–以完成精度更高的刻划深度操控
