MEMS是什么呢？MEMS（Micro Electro Mechanical systems，微电子机械体系）是建立在微米/纳米技能基础上的前沿技能，其是一种可对微米/纳米资料进行规划、加工、制作、丈量和控制的技能。它可将机械构件、光学体系、驱动部件、电控体系集成为一全体单元的微型体系。
与传统的使用角动量守恒原理的陀螺仪比较，MEMS陀螺仪使用了不同的作业原理。传统的陀螺仪是一个不断滚动的物体，其转轴的指向不随承载它的支架旋转而改动。要把这样一个不断滚动的没有支撑的能旋转的物体用微机械技能在硅片衬底上加工出来，明显难上加难。为此，MEMS陀螺仪在根据传统陀螺仪特性的基础上使用科里奥利力来完成了设备的小型化。
科里奥利力（Coriolis force）也就经常说的哥里奥利力、科氏力，它是对旋转体系中进行直线运动的质点因为惯性相对于旋转体系产生的直线运动的偏移的一种描绘，其来自于物体运动所具有的惯性，因为地球自转运动而效果于地球上运动质点的倾向力便是这样的代表，地转倾向力有助于解说一些地舆现象，如河道的一边往往比另一边冲刷得更凶猛。
MEMS陀螺仪是科里奥利力的最常见使用，MEMS陀螺仪使用科里奥利力（旋转物体在径向运动时所遭到的切向力），旋转中的陀螺仪可对各种形式的直线运动产生反映，经过记载陀螺仪部件遭到的科里奥利力能够进行运动的丈量与控制。为了产生这种力，MEMS陀螺仪一般装置有两个方向的可移动电容板，“径向的电容板加震动电压迫使物体作径向运动，横向的电容板丈量因为横向科里奥利运动带来的电容改动。”这样，MEMS陀螺仪内的“陀螺物体”在驱动下就会不断地来回做径向运动或震动，然后模仿出科里奥利力不断地在横向来回改动的运动，并可在横向作与驱动力差90°的细小震动。这种科里奥利力比如角速度，所以由电容的改动便能够计算出MEMS陀螺仪的角速度。
三轴角速度与旋转速率成正比
以意法半导体的MEMS陀螺仪为例，其中心元件是一个微加工机械单元，在规划上依照一个音叉机制作业（音叉机制的作业原理是经过装置在音叉基座上的一对压电晶体使音叉在必定共振频率下振动，当音叉开关的音叉与被测介质相触摸时，音叉的频率和振幅将改动，音叉开关的这些改动由智能电路来进行检测，处理并将之转换为一个开关信号）。电机驱动部分经过静电驱动办法，使机械元件前后振动，产生谐振，使用科里奥利力把角速率转换成一个特定感应结构的位移，两个正在运动的质点向相反方向做接连运动。只要从外部施加一个角速率，就会呈现一个力，力的方向垂直于质点的运动方向。产生的力使感应质点产生位移，位移巨细与所施加的加快度速率巨细成正比，坐落周围的传感器就能感应出在定子和转子之间引起的电容改动，然后完成控制功用。而且，因为在控制电路内部嵌入了先进的电源关断功用，能够在不需求传感器功用的时分封闭整个传感器，或让其进入深度睡觉形式，便可大幅下降陀螺仪的总功耗。然后像手机等便携式设备就会由此取得更长的续航时刻。
三轴陀螺仪技能原理
三轴陀螺仪也叫“微机械陀螺仪”，而“微机械陀螺仪”也可称作“MEMS陀螺仪”，即一同测定6个方向的方位，移动轨道，加快。单轴的只能丈量一个方向的量，也便是一个体系需求三个陀螺仪，而3轴的一个就能代替三个单轴的。3轴的体积小、重量轻、结构简略、可靠性好，是激光陀螺的发展趋势。
三轴陀螺仪最大的效果便是“丈量角速度，以判别物体的运动状况，所以也称为运动传感器“，换句话说，这东西能够让我们的设备知道自己“在哪儿和去哪儿”（where they are or where they are going）！
如：芯片内部含有一块微型磁性体，能够在设备进行旋转运动时产生的科里奥力效果下向X，Y，Z三个方向产生位移，使用这个原理便能够测出手机的运动方向。而芯片中心中的别的一部分则能够讲有关的传感器数据转换为设备能够辨认的数字格局，所以，当该体系运行时，不管你将设备上移或许甩动，里边的芯片承受指令就会向设备的CPU传输数据，使得设备能够做出正确的回应。
加快传感器
加快度计是惯性导航和惯性制导体系的根本丈量元件之一，加快度计本质上是一个振动体系，装置于运动载体的内部，能够用来丈量载体的运动加快度。
MEMS加快度计作业原理：
当加快度计连同外界物体（该物体的加快度便是待测的加快度）一同作加快运动时，质量块就遭到惯性力的效果向相反的方向运动。质量块产生的位移遭到绷簧和阻尼器的约束，经过输出电压就能测得外界的加快度巨细。
