Fe2O3、Fe3O4、Cr2O3、Al2O3、Mg2O3及ZnO、TIO2，等金属氧化物的细粉，吸收水分后有极快的速干特性，使用这种特性能够研发生产出多种金属氧化物膜湿敏元件。
金属氧化物膜湿敏元件的一般结构如图所示。在陶瓷基片上先制作成钮银梳状电极，然后选用丝网印刷、涂布或喷发等工艺办法，将调制好的糊状金属氧化物加工在陶瓷基片及电极上，选用烧结或烘干办法使之固化成膜。这种膜能够吸附或开释水分子而改动其电阻值，经过丈量电极间的电阻值即可检测相对湿度。
金属氧化物膜湿敏元件的特点是电阻的对数值与湿度呈线性关系，具有测验规模宽、呼应速度快、湿滞小和工作温度规模宽的长处，使用寿命大多在两年以上。
