金属氧化物陶瓷湿敏元件
将极端微细的金属氧化物颗粒在高温1300℃下烧结,可制成多孔体的金属氧化物陶瓷,在这种多孔体外表加上电极,引出接线端子就可做成陶瓷湿敏元件。湿敏元件运用时有必要暴露于测验环境中,故油垢、尘土和有害于元件的物质(气、固体)都会使其物理吸赞同化学吸附功能发生改变,引起元件特性变坏。而金属氧化物陶瓷湿敏元件的陶瓷烧结体物理和化学状况安稳,可以用加热去污办法康复元件的湿敏特性,并且烧结体的外表结构极大地扩展元件外表与水蒸气的触摸面积,使水蒸气易于吸着和脱去,还可经过控制元件的纤细结构使物理性吸附占主导地位,取得最佳的湿敏特性。因而陶瓷湿敏元件的运用寿命长、元件特性安稳,是现在最有或许成为工程运用的首要湿敏元件之一。陶瓷湿敏元件的运用温度为0~160℃。
在许多的金属氧化物陶瓷资料中,由铬酸镁-二氧化钛固溶体组成的多孔性半导体陶瓷是功能较好的湿敏资料,它的外表电阻率能在很宽的范围内跟着湿度的改变而改变,并且能在高温条件下进行重复的热清洗,功能仍坚持不变。图3为这种陶瓷湿敏元件结构。