MEMS硅膜电容式压力传感器的基本原理和结构设计-目前敏感薄膜的材料多采用重掺杂p型硅、Si3N4、单晶硅等。这几种材料都各有优缺点,其选择与目标要求和具体工艺相关。硅膜不破坏晶格,机械性能优异,适于阳极键合形成空腔,从简化工艺的目的出发,本方案选择硅膜。
目前,大多数实用的太阳能电池技术中,都是基于多晶硅或者单晶硅材料,其转换效率最多可达到18%左右。而来自美国硅谷AltaDevices公司推出的一种新型可弯曲可嵌入太阳能电池,其转换效率达到了惊人的2
太阳能光伏电池(简称光伏电池),用于把太阳的光能直接转化为电能。目前地面光伏系统大量使用的是以硅为基底的硅太阳能电池,可分为单晶硅、多晶硅、非晶硅太阳能电池。在能量转换效率和使用寿命等综合性能方面,单