基于KOH各向异性腐蚀和深刻蚀形成硅薄膜的微型电容气象压力传感器-电容式压力传感器的基本结构如图1所示。式中:ε0为真空中的介电常数;t为绝缘层的厚度;εr为绝缘层的相对介电常数;g为零载荷时电容器两极板之间的初始距离;ω(x,y)为极板膜的中平面的垂向位移。
磁阻角度与线性位置测量系统经常会被应用到电机的控制上,应用十分广泛。下文就给出了该种测量系统的设计方案。包括硬件选型,软件仿真与测试结果。电路功能与优势图1所示紧凑型双芯片电路提供非接触式各向异性磁阻
基于KOH各向异性腐蚀和深刻蚀形成硅薄膜的微型电容气象压力传感器-电容式压力传感器的基本结构如图1所示。式中:ε0为真空中的介电常数;t为绝缘层的厚度;εr为绝缘层的相对介电常数;g为零载荷时电容器两极板之间的初始距离;ω(x,y)为极板膜的中平面的垂向位移。
本站为您提供的美新发布业界最高性能的三轴地磁传感器,美新公司作为全球领先的MEMS技术与混合信号处理系统解决方案供应商,今天正式推出基于各向异性磁阻(AMR)技术的磁传感器系列最新成员:MMC5883MA。该产品具有业内最高精度,最低噪音和最低的功耗,采用符合行业标准的小型LGA封装,满足了标准不断提高的工业与无人机应用的需求。