MEMS建模–从设计到制造-MEMS模型由系统和IC 设计师使用,因此模型应当尽可能紧密地集成到用户的设计流程。对于IC 设计师,这需要模型支持所有模拟器,具有设计流程中的各种实体化等级的多种视图。
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