手机中的三轴陀螺仪- iPhone 4采用了微型的、电子化的振动陀螺仪，也叫微机电陀螺仪。iPhone 4是世界上第一台内置MEMS（微机电系统）三轴陀螺仪的手机，可以感知来自六个方向的运动，加速度，角度变化
物联网中的传感器融合和远程情感计算-传感器技术时代已经到来。现在，很难见到不使用传感器为用户创造新体验的电子消费产品。传感器正在经历复兴，这是由于微机电系统 （MEMS） 技术价格降低了，尺寸也缩小了，因此又推动了传感器在新应用的使用，并为传感器市场营造了新机遇。
菲尔斯特的MEMS微机电技术和MPT微组装工艺-微机电系统（MEMS， Micro-Electro-MechanicSystem）是一种先进的制造技术平台。它是以半导体制造技术为基础发展起来的。MEMS更侧重于超精密机械加工，并要涉及微电子、材料、力学、化学、机械学诸多学科领域。
流量传感器内部结构及检测原理-MEMS传感器即微机电系统（Micro-electro Mechanical Systems），是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。
干货：有关MEMS的最详细介绍-虽然大部分人对于MEMS（Microelectromechanical systems， 微机电系统/微机械/微系统）还是感到很陌生，但是其实MEMS在我们生产，甚至生活中早已无处不在了，智能手机，健身手环、打印机、汽车、无人机以及VR/AR头戴式设备，部分早期和几乎所有近期电子产品都应用了MEMS器件。
一文阅尽“霸屏”电子产品的MEMS及其工作原理-虽然大部分人对于MEMS（Microelectromechanical systems，微机电系统/微机械/微系统）还是感到很陌生，但是其实MEMS在我们生产，甚至生活中早已无处不在了，智能手机，健身手环、打印机、汽车、无人机以及VR/AR头戴式设备，部分早期和几乎所有近期电子产品都应用了MEMS器件。
MEMS传感器按工作原理分有哪些类型-MEMS的全称是微型电子机械系统（Micro-ElectroMechanicalSystem），微机电系统是指可批量制作的，将微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。
MEMS压力传感器的蚀刻工艺和封装工艺-MEMS，微机电系统，是1959年12月由理查德·费曼最早提出的概念，是将微观模拟机械元件机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路。
