意法半导体为研发组织提供意法半导体THELMA MEMS制程- CMP是为集成电路（IC）和微机电系统（MEMS）设计公司提供芯片设计/开发和小批量制造服务的中介机构，承接大专院校、研究实验室和企业委托的电路制造服务。
MEMS光开关简介 MEMS光开关控制的基本工作原理-MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems，微机电系统）是指将微型机械、微型执行器、信号处理和控制电路等集于一体的可批量制作的微型器件或系统。而MOEMS是 Micro-Opto-Electro- Mechanical System的缩写，意为微光机电系统，把微光学应用到微机电系统中，这是MEMS在光通信中的重要应用。微光电机械芯片通常是指包含一个以上微机械元件的光系统或光电子系统，其应用将遍及光通信、光显示、数据存储、自适应光学及光学传感等多个方面。
什么是微机电系统 主要种类及相关技术介绍-微机械电子系统是微电子技术的拓宽和延伸，它是将微电子技术和精密机械加工技术相互融合，并将微电子与机械融为一体的系统。MEMS将电子系统和外部世界有机地联系起来，它不仅能感受运动、光、声、热、磁等自然界的外部信号，使之转换成电子系统可以识别的电信号，而且还能通过电子系统控制这些信号，进而发出指令，控制执行部件完成所需的操作。
MEMS光开关控制原理解析-MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems，微机电系统）是指将微型机械、微型执行器、信号处理和控制电路等集于一体的可批量制作的微型器件或系统。而MOEMS是 Micro-Opto-Electro- Mechanical System的缩写，意为微光机电系统，把微光学应用到微机电系统中，这是MEMS在光通信中的重要应用。微光电机械芯片通常是指包含一个以上微机械元件的光系统或光电子系统，其应用将遍及光通信、光显示、数据存储、自适应光学及光学传感等多个方面。
采用双轴加速度传感器的斜度测量系统设计-微机械惯性器件是微机电系统重要的研究内容，微惯性器件包括微陀螺和微加速度传感器。采用微机电技术制造的微加速度传感器在寿命、可靠性、成本、体积和重量等方面都要大大优于常规的加速度传感器，使得其无论在民用领域，还是在军用领域都有着广泛的应用。
光纤陀螺仪工作原理解析-MEMS陀螺仪即硅微机电陀螺仪，绝大多数的MEMS陀螺仪依赖于相互正交的振动和转动引起的交变科里奥利力。MEMS （Micro-Electro-Mechanical Systems）是指集机械元素、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的完整微型机电系统。
MEMS与IC集成工艺介绍 NEMS器件在IC 中的应用- 现在微机电系统已经远远超越了“机”和“电”的概念, 将处理热、光、磁、化学、生物等结构和器件通过微电子工艺及其他一些微加工工艺制造在芯片上, 并通过与电路的集成甚至相互间的集成来构筑复杂微型系统.
MEMS陀螺仪技术原理_三轴陀螺仪技术原理-三轴陀螺仪也叫“微机械陀螺仪”，而“微机械陀螺仪”也可称作“MEMS陀螺仪”，即同时测定6个方向的位置，移动轨迹，加速。
分析三轴陀螺仪的工作原理及应用-三轴陀螺仪也叫作微机械陀螺仪，而微机械陀螺仪也会被称作MEMS陀螺仪。它的特点在于能够同时进行六个方向的位置测定工作，还能对该些方向移动的轨迹及加速的测定。最早的单轴陀螺仪的只能进行一个方向的测量。一个三轴陀螺仪能完成三个单轴陀螺仪的工作量，如果在一个系统需要三个陀螺仪，三轴陀螺仪可以完美替代三个单轴陀螺仪。三轴陀螺仪具有体积小、重量轻、结构简单、可靠性好等优点，是激光陀螺的发展趋势。简而言之，三轴陀螺仪最大的作用就是“测量角速度，以判别物体的运动状态，所以也称为运动传感器。
Bourns正式推出了微机电系统MEMS环境传感器-Bourns新推出的环境传感器采用最先进的技术，即便在多数传感器可能产生故障的条件下仍能顺利运行。BPS110和BPS120压力传感器可为敏感应用提供极其精确的超低压感测功能。此外更提供完全校准和补偿输出，可实现更高效的处理以及长期稳定性，实现可靠的可重复性。
