一文解析MEMS半导体元件-MEMS是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的,目前MEMS加工技术还被广泛应用于微流控芯片与合成生物学等领域,从而进行生物化学等实验室技术流程的芯片集成化。
MEMS元器件的主要组成部分及工艺-MEMS主要包括微型机构、微型传感器、微型执行器和相应的处理电路等几部分,它是在融合多种微细加工技术,并应用现代信息技术的最新成果的基础上发展起来的高科技前沿学科。
韩国科学院推出了一种安全标签可作为嗅觉传感器应用于假币检测-KAIST制造的温度控制显示器是将200~700μm见方的像素以100~200μm的间隔横向排列数十个、纵向排列数个而形成的。从截面来看,在0.8mm厚的耐热玻璃底板上对每一像素设置了由钛(Ti)和金(Au)构成的微细加热器,并在加热器上面形成了一层高分子“Polymerization-Poly-Vinyl Alcohol(PDA-PVA)”膜。控制每一像素的加热器温度,凭借加热器发出的热量来改变膜的颜色。
本文在EDM机理与嵌入式技术领域最新研究成果的基础上,针对目前微细EDM加工中电源的研究现状,提出了一种新型的智能型EDM脉冲电源,该电源的脉间精度可以达到0.2μs,是一般的分立软件和集成电路所不能
一文解析MEMS半导体元件-MEMS是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的,目前MEMS加工技术还被广泛应用于微流控芯片与合成生物学等领域,从而进行生物化学等实验室技术流程的芯片集成化。