基于MEMS工艺的电极型免疫微传感器检测系统设计-根据免疫传感器检测的原理及特点，并针对提高微型免疫生物传感器稳定性和一致性的需要，进行微流体系统的设汁和研究。设计面向应用化和稳定的免疫检测系统，考虑到低成本和易操作等因素，采用将微反应室和反应电极分别制作的方法。实验时在电极片表面粘附微结构形成微反应系统进行免疫检测，反应结束后可以将反应室与电极分开，相对于一次性的反应电极，微反应窒可以经处理后实现重复使用。