MEMS压力传感器的蚀刻工艺和封装工艺-MEMS，微机电系统，是1959年12月由理查德·费曼最早提出的概念，是将微观模拟机械元件机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路。

MEMS压力传感器的蚀刻工艺和封装工艺-MEMS，微机电系统，是1959年12月由理查德·费曼最早提出的概念，是将微观模拟机械元件机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路。