MEMS硅膜电容式压力传感器的基本原理和结构设计

MEMS硅膜电容式压力传感器的基本原理和结构设计-目前敏感薄膜的材料多采用重掺杂p型硅、Si3N4、单晶硅等。这几种材料都各有优缺点,其选择与目标要求和具体工艺相关。硅膜不破坏晶格,机械性能优异,适于阳极键合形成空腔,从简化工艺的目的出发,本方案选择硅膜。

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微米级电子芯片检测这都不是事儿――福禄克Tix660红外热像仪可对微米等级的方针进行检测

微米级小芯片的检测一直是研发领域检测的难点,常见的热像仪可有效检测的最小目标通常为0.2mm以上,对于微米级别的芯片晶格和元器件来说,需要在像素和光学系统上均达到一定性能要求才可以准确检测。

浅析硅基GaN LED及光萃取技能

传统的氮化镓(GaN)LED元件通常以蓝宝石或碳化硅(SiC)为衬底,因为这两种材料与GaN的晶格匹配度较好,衬底常用尺寸为2或4。业界一直在致力于用供应更为丰富的硅晶圆(6或更大)来发展GaN,因为

怎么使LED部件的散热功能有用提高

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热的传播方式有“热传导”、“对流”、“热辐射”三种形态,晶格振动的传播、金属中自由电子的移动属于“热传导”,流体运动传热属于“对流”,通过电磁波传热是“热辐射”。热辐射散热法的优点是,在机壳密闭而且很

【E讲堂】最全面的磁珠常识总结

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一、磁珠的原理磁珠的主要原料为铁氧体。铁氧体是一种立方晶格结构的亚铁磁性材料。铁氧体材料为铁镁合金或铁镍合金,它的制造工艺和机械性能与陶瓷相似,颜色为灰黑色。电磁干扰滤波器中经常使用的一类磁芯

砷化铝镓 (AlGaAs)技能简介

AlGaAs技术在微波行业采用能隙工程生产新型半导体结构已有二十多年的历史。利用多量子阱、超晶格和异质结的各种性质,已制造出由分子束外延法和有机金

王守武:执着创“芯”六十年

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熟悉我国微电子科技领域情况的人们可能都知道,在该领域有三足鼎立一说,说的是黄昆、谢希德、王守武三位在解放初期从国外归来的博士、中科院学部委员。黄昆、谢希德两位分别在晶格动力学散射理论和

氧化镍电极的作业原理

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氧化镍电极的活性物质是具有一定晶型结构的氧化物β-NiOOH。晶格中某一数量的OH-被O2-代替叫质子缺陷;晶格中一定数量Ni2+被Ni3+

超晶格电解质资料

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将离子导电率提1亿倍 燃料电池新材料探秘

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