详解:电容式MEMS麦克风读出电路设计-电容式MEMS麦克风具有以下优势:1)性能稳定,温度系数低,受湿度和机械振动的影响小;2)成本低廉;3)体积小巧,电容式MEMS麦克风的背极板和振膜仅有最小的驻极体电容式麦克风的1/10左右;4)功耗更低
基于KOH各向异性腐蚀和深刻蚀形成硅薄膜的微型电容气象压力传感器-电容式压力传感器的基本结构如图1所示。式中:ε0为真空中的介电常数;t为绝缘层的厚度;εr为绝缘层的相对介电常数;g为零载荷时电容器两极板之间的初始距离;ω(x,y)为极板膜的中平面的垂向位移。
电容式传感器的工作特点及应用实际-电容式传感器基本上可以分成三类:电场传感器、基于弛张振荡器的传感器以及电荷转移(QT)器件。电场传感器通常会产生数百kHz的正弦波,然后将这个信号加在电容一个极板的导电盘上,并检测另外一个导电盘上的信号电平。
电容式和差分电容式传感器的工作原理及应用-单电容传感器的一个极板固定,称为静极板,另一极板与被测物体连接为动极板。差分电容传感器的上下极板均固定,称为静极板,中间极板为动极板。当被测物体移动时动极板跟随移动,就改变了极板间的电容量C,可知C-d特性是一条曲线: