MEMS传感器概念、分类等基础知识详解-关于MEMS传感器的基础知识，你了解多少？本文将从MEMS传感器的概念、制造及工艺、MEMS传感器与传统传感器的区别、MEMS传感器的分类几大部分详解，帮助初识MEMS传感器的读者快速了解这一重要器件。