一种适用于MEMS振荡器的制造工艺介绍与分析-对MEMS振荡器的已超过四十个年头，然而最近才走向商用化，其中最大的一个障碍是开发一种经济并足够纯净的密闭封装系统。MEMS振荡器必须密封于非常洁净的环境，因为即使极小的表面污染物也会明显改变振荡频率。另外，由于封装对成本敏感，所以封装还必须低成本。因此，MEMS振荡器的封装必须满足四大要求：（1）提供极其洁净的内部环境；（2）提供稳定的机械结构；（3）小型化，适合CMOS集成并能发挥MEMS的长处；（4）低成本。
制药灭菌中的臭氧传感器-生物制药类的洁净车间一般对环境卫生条件都要求比较高，因此不但结构密封性好，而且进行消毒处理也是必不可少的环节。较早常用的方法是通过喷洒或熏蒸化学药品来进行消毒，但此法往往会产生大量细小微尘，对洁净车间的环境有着很大的影响，并且实施起来也比较麻烦，所以随着近年来大量新消毒技术的开发，臭氧开始被广泛用于制药灭菌中，而臭氧传感器也因此得以更广泛应用。
