栅格与分辨率:界说IC规划中两个附近的术语

栅格与分辨率:界说IC规划中两个附近的术语

术语“栅格”和“分辨率”的混淆和相互替换,对DSM(深亚微米)和亚波长半导体设计的生产、可靠性和制造,已经形成巨大的消极影响。

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