在真空技术应用中，气体微流量由气体微流量计测量。精确测量气体微流量(或漏率)具有十分重要的意义。例如，为了保持飞船舱内的压力长期工作正常，需要对舱体进行检漏，检漏时不但要找到漏孔位置，还要精确测量微小