MEMS IC和传统IC的无缝互连集成技术- MEMS 芯片的集成通常是指电子和机械功能的集成。那么这种工艺的最终目标是什么呢?答案是:将MEMS 结构无缝集成到与之相连的同一CMOS 芯片上。 目前的MEMS 芯片可能包含了电子和机械功能。在某些情况下,它们还可能包含光信号。
在智能手机地图里能够精确定位的电子罗盘-智能手机是随着互联网和电子技术的发展而出现的,与传统的手机相比,智能手机除了具备更好的通信和多媒体应用能力外,还能够通过加装不同的应用程序实现特定的功能。在当今社会中,智能手机让人们的生活更加的舒适便捷。在智能手机功能越来越强大的同时,集成到其中的传感器元件也越来越多。在一些较高性能的手机中,通常都集成了电子罗盘以助其实现方位测定的功能。
基于MEMS传感器在电子鼻系统中的应用设计-电子鼻主要由气味取样操作器、气体传感器阵列和信号处理系统三种功能器件组成。电子鼻识别气味的主要机理是在阵列中的每个传感器对被测气体都有不同的灵敏度,例如,一号气体可在某个传感器上产生高响应,而对其他传感器则是低响应,同样,二号气体产生高响应的传感器对一号气体则不敏感,归根结底,整个传感器阵列对不同气体的响应图案是不同的,正是这种区别,才使系统能根据传感器的响应图案来识别气味。