浅谈压力控制器的工作原理-压力控制器采用金属316L膜片式的传感器,可用于中性油、气体介质和水。控制器的设定值可调,调节范围-0.1 ~ 40MPa量程段任意可选。 防爆型产品防爆标志为Exed II CT6。
微压传感器的原理说明-微压传感器在丈量进程中,压力直接效果在传感器的膜片上,使膜片发作与介质压力成正比的微位移,使传感器的电阻发作改动,一同经过电子线路查看这一改动,并改换输出一个对应于这个压力的规范信号,这么的进程便是微压传感器进行丈量的进程。
高温微型压力传感器的制作工艺及应用原理解析-高温压力传感器由硅膜片、衬底、下电极和绝缘层构成。其中下电极位于厚支撑的衬底上。电极上蒸镀一层绝缘层。硅膜片则是利用各向异性腐蚀技术,在一片硅片上从正反面腐蚀形成的。上下电极的间隙由硅片的腐蚀深度决定。硅膜片和衬底利用键合技术键合在一起,形成具有一定稳定性的硅膜片电容压力传感器[2]。由于铂电阻耐高温,且对温度敏感,选用铂电阻,既可以当普通电阻使用,又可以作为温度传感器用以探测被测环境的温度。
MEMS传感器在汽车上的应用及产业化发展- 最流行的汽车MEMS压力传感器采用压阻式力敏原理,这是现有几种力敏传感器中用量最大的一种,开发出几代产品,年产量为数千万只。这种传感器用单晶硅作材料,以MEMS技术在材料中间制作成力敏膜片,然后在膜片上扩散杂质形成4只应变电阻,再以惠斯顿电桥方式将应变电阻连接成电路,来获得高灵敏度,其输出大多为0~5V模拟量,测量范围取决于力敏膜片的厚度,一枚晶片上可同时制作许多个力敏芯片,易于批量生产,力敏芯片受温度影响性能采用调理电路补偿。