
高温微型压力传感器的制作工艺及应用原理解析-高温压力传感器由硅膜片、衬底、下电极和绝缘层构成。其中下电极位于厚支撑的衬底上。电极上蒸镀一层绝缘层。硅膜片则是利用各向异性腐蚀技术,在一片硅片上从正反面腐蚀形成的。上下电极的间隙由硅片的腐蚀深度决定。硅膜片和衬底利用键合技术键合在一起,形成具有一定稳定性的硅膜片电容压力传感器[2]。由于铂电阻耐高温,且对温度敏感,选用铂电阻,既可以当普通电阻使用,又可以作为温度传感器用以探测被测环境的温度。

本站为您提供的真空传感器结构_真空传感器的工作原理,真空传感器由玻璃衬底、下电极、绝缘层、硅膜片( 上电极) 、上层密封用的玻璃组成, 其中下电极溅射在玻璃衬底上, 电极上生长一绝缘层; 硅膜是利用硅片的双面光刻、扩散和各向异性腐蚀技术形成的。

Aroma Bit新公司开发出了一种基于CMOS型的下一代气味传感器-Aroma Bit已经开发并正在销售采用石英晶体微天平(Quartz Crystal Microbalance, QCM)传感器衬底的紧凑型气味传感器,在传感器市场上展现了超高的灵敏度。不过,利用传统QCM型气味传感器进一步缩小尺寸、降低成本以满足智能手机等大批量应用颇具挑战。

本站为您提供的太阳能的利用—薄膜太阳电池,硅太阳电池的应用日趋广泛, 但昂贵的原材料成为发展的瓶颈. 薄膜太阳电池由于只需使用一层极薄的光电材料,材料使用非常少。并可使用软性衬底,应用弹性大,如果技术发展成熟,