0引言Si外延层厚度的测量方法有多种，主要包括称重法、层错法、磨角染色法、解理法和红外干涉法。这些方法各具特点与适用范围，例如，采用红外干射法进行测量时，要求衬底表面对入射光具有足够的反射能力。半导体