基于KOH各向异性腐蚀和深刻蚀形成硅薄膜的微型电容气象压力传感器-电容式压力传感器的基本结构如图1所示。式中：ε0为真空中的介电常数；t为绝缘层的厚度；εr为绝缘层的相对介电常数；g为零载荷时电容器两极板之间的初始距离；ω（x，y）为极板膜的中平面的垂向位移。