MEMS技能能够被结合到各式各样的电子部件中。出产这些组件的公司大概会以为MEMS施行优于MEMS版别面世之前所运用的施行方法。很难验证足够多的这些建议来证明依照“MEMS器材比非MEMS器材具有显着更好的功能”这样的归纳说法是合理的。可是,我的整体印象是,在许多情况下,MEMS确实是向前迈出的重要一步,假如功能或易于实现是您规划中的优先事项,那么我将首要重视MEMS器材。
在电气工程范畴,MEMS技能已被分为四个产品类别:
消息
感测器
开关
震动器
或许有些不常见的产品不属于这些类别之一。假如您知道我疏忽的某些内容,请随时在谈论中奉告咱们。
消息:在音频范畴,咱们有MEMS麦克风和MEMS扬声器。下图传达了MEMS麦克风的根本特性。
感测器:传感器是MEMS技能的首要使用。有MEMS陀螺仪,倾角仪,加速度计,流量传感器,气体传感器,压力传感器和磁场传感器。
开关:在我看来,电控开关是MEMS技能特别风趣的使用。我在本文中介绍过的ADGM1004易于控制,可在0Hz至10GHz以上的信号频率下作业,在关断状态下的走漏电流小于1nA,供给的驱动寿数至少为一个十亿个周期。
震动器:将微机械谐振器与鼓励电路和保持电路相结合会发生MEMS振荡器。假如您想研讨实践的MEMS组件,能够查阅2017年的一篇新闻文章,其间我评论了SiTime的SiT2024BMEMS振荡器。
图由SiTime供给。
我在MEMS振荡器方面经验不足,但我以为它们或许是严苛使用中的绝佳挑选。在上述有关SiT2024B的文章中,我指出,根据SiTIme的信息,MEMS振荡器能够大大优于石英振荡器。