现代轿车电子从所运用的电子元器材到车内电子体系的架构均已进入了一个有实质性进步的新阶段。其间最有代表性的中心器材之一便是智能传感器。
一、从轿车电子操控和安全体系谈起
近几年来我国轿车工业添加敏捷，开展势头很猛。因而评论界呈现了一些专家的猜测：轿车工业有或许超越IT工业，成为我国国民经济最重要的支柱工业之一。其实，轿车工业的添加必将包含与轿车工业相关的IT 工业的添加。例如，尽管现在在我国一汽的产品中电子产品和技能的价值含量只占10%—15%左右，但国外轿车中电子产品和技能的价值含量均匀约为22%，中、高级轿车中轿车电子已占30%以上，并且这个份额还在、不断地快速添加，预期很快将到达50%。
电子信息技能现已成为新一代轿车开展方向的主导要素，轿车（机动车）的动力功用、操控功用、安全功用和舒适功用等各个方面的改善和进步，都将依赖于机械体系及结构和电子产品、信息技能间的完美结合。轿车工程界专家指出：电子技能的开展已使轿车产品的概念发生了深入的改动。这也是最近电子信息工业界对轿车电子空前重视的原因之一。可是，有必要指出的是，除了一些车内音响、视频配备，车用通讯、导航体系，以及车载作业体系、网络体系等车内电子设备的实质改动较少外，现代轿车电子从所运用的电子元器材（包含传感器、执行器、微电路等）到车内电子体系的架构均已进入了一个有实质性进步的新阶段。其间最有代表性的中心器材之一便是智能传感器（智能执行器、智能变送器）。
实践上，轿车电子现已阅历了几个开展阶段：从分立电子元器材建立的电路监测操控，经过了电子元器材或组件加微处理器构筑的各自独立的、专用的、半主动和主动的操控体系，现在现已进入了选用高速总线（现在至少有5种以上总线已开发运用），共同交流轿车运转中的各种电子配备和体系的数据，完结概括、智能调控的新阶段。新的轿车电子体系由各个电子操控单元（ECU）组成，可以独立操控，一起又能协调到全体运转的最佳状况。例如为使发动机处于最佳作业状况，就需求从吸入汽缸的空气流量、进气压力的测定开端，再依据水温、空气温度等作业环境参数计算出根本喷油量，一起还要经过节气门方位传感器检测节气门的开度，承认发动机的工况，从而操控，调整最佳喷油量，终究还需求经过曲轴的角速度传感器监测曲轴转角和发动机转速，终究计算出并宣布最佳焚烧机遇的指令。这个发动机燃油喷发体系和焚烧概括操控体系还可以与废气排放的监控体系和起动体系等组合，构筑成可使轿车发动机功率和扭矩最大化，而一起燃油耗费和废气排放最低化的智能体系。
还可以举一个安全驾驭方面的比如，出于平稳、安全驾驭的需求，仅只针对四个轮子的操控上，除了运用许多压力传感器并遍及安装了刹车防抱死设备（ABS）外，许多轿车，包含国产车，已增设了电子动力分配体系（EBD），ABS+EBD可以最大极限的保证雨雪气候驾驭时的安稳性。现在，国内外的一些轿车进一步加装了紧迫刹车辅佐体系（EBA），该体系在发生紧迫状况时，主动检测驾驭者踩制动踏板时的速度和力度，并判别紧迫制动的力度是否满意，假如需求，就会主动增大制动力。EBA 的自控动作有必要在极短时刻（例如百万分之一秒级）内完结。这个体系能使200km/h高速行驶车辆的制动滑行间隔缩短极端名贵的20多米。针对车轮的还有别离监测各个车轮相对于车速的转速，从而为每个车轮平衡分配动力，保证在恶劣路面条件下各轮间具有杰出的均衡抓地才能的“电子牵引力操控”（ETC）体系等。
从以上罗列的两个比如可以清楚看到，轿车开展对轿车电子的一些根本要求：
1．电子操控体系的动作有必要快速、正确、牢靠。传感器（+调度电路）+微处理器，然后再经过微处理器（+功率扩大电路）+执行器的技能途径现已不再能满意现代轿车的要求，需求经过硬件集成、直接交流数据和简化电路，并进步智能化程度来保证操控单元动作的正确性、牢靠性和当令性。
2．现在简直一切的轿车的机械结构部件都已受电子设备操控，但轿车车体内的空间有限，构件体系的空间更是极端有限。抱负的状况当然是，电子操控单元应与受操控 部件紧密结合，构成一个全体。因而器材和电路的微型化、集成化是不行逃避的路途。
3．电子操控单元有必要具有满意的智能化程度。以安全气囊为例，它在要害时刻有必要要能及时、正确地瞬时翻开，但在极大大都时刻内气囊是处在待命状况，因而安全气囊的ECU 有必要具有自检、自保护才能，不断承认气囊体系的可正常运作的牢靠性，保证动作的“满有把握”。
4．轿车的各种功用部件都有各自的运动、操控特性，并且，对电子产品而言，大多处于十分恶劣的运转环境中，并且各不相同。比如作业状况时的高温，停止待命时的低温，高浓度的油蒸汽和活性（毒性）气体，以及高速运动和高强度的冲击和振荡等。因而，电子元器材和电路有必要要有高安稳、抗环境和自适应、自补偿调整的才能。
5．与上述要求相同重要，乃至有时是要害性的条件是，轿车电子操控单元用的电子元器材、模块有必要要能大规划工业出产，并能将本钱下降到可接受的程度。一些微传感器和智能传感器便是这方面的模范。例如智能加速度传感器，它不仅能较好地满意现代轿车的各项需求，并且由于可以在集成电路规范硅工艺线上批量出产，出产本钱较低（几美元至十几或几十美元），所以在轿车工业中找到了自己最大的运用商场，反过来也有力地促进了轿车工业的电子信息化。
二、智能传感器：微传感器与集成电路交融的新一代电子器材
微传感器、智能传感器是近几年才开端敏捷开展起来的新式技能。在我国的报刊杂志上现在所运用的技能称号还比较含糊，依然抽象地称之为传感器，或许含糊地概括为轿车半导体器材，也有将智能传感器（或智能执行器、智能变送器）与微体系、MEMS等都归入了MEMS （微机电体系）称号下的。这儿介绍当时一些欧美专著中常用的技能名词的界说和技能内在。 首要有必要阐明的是，在绝大大都状况下，本文巨细标题及全文中所说的传感器其实是泛指了三大类器材：将非电学输入参量转化成电磁学信号输出的传感器；将电学信号转化成非电学参量输出的执行器；以及既能用作传感器又能用作执行器，其间较多的是将一种电磁学参量方式转变成另一种电磁学参量形状输出的变送器。便是说，关于微传感器、智能传感器的技能特功可以扩展类推到微执行器、微变送器-传感器（或执行器、或变送器）的物理规范中至少有一个物理尺度等于或小于亚毫米量级的。微传感器不是传统传感器简略的物理缩小的产品，而是根据半导体工艺技能的新一代器材：运用新的作业机制和物化效应，选用与规范半导体工艺兼容的资料，用微细加工技能制备的。因而有时也称为硅传感器。可以用相似的界说和技能特征类推描绘微执行器和微变送器。
它由两块芯片组成，一是具有自检测才能的加速度计单元（微加速度传感器），另一块则是微传感器与微处理器（MCU）间的接口电路和MCU。这是一种较前期（1996年前后）的，但已适当有用的器材，可用于轿车的主动制动和悬挂体系中，并且因微加速度计具有自检才能，还可用于安全气囊。从此例中可以清楚看到，微传感器的优势不仅是体积的缩小，更在于能方便地与集成电路组合和规划出产。应该指的是，选用这种两片的解决计划可以缩短规划周期、下降开发前期小批量试产的本钱。但对实践运用和商场来说，单芯片的解决计划明显更可取，出产本钱更低，运用价值更高。
智能传感器（Smart Sensor）、智能执行器和智能变送器-微传感器（或微执行器，或微变送器）和它的部分或悉数处理器材、处理电路集成在一个芯片上的器材（例如上述的微加速度计的单芯片解决计划）。因而智能传感器具有必定的仿生才能，如含糊逻辑运算、主动辨别环境，主动调整和补偿适应环境的才能，自确诊、自保护等。明显，出于规划出产和下降出产本钱的要求，智能传感器的规划思维、资料挑选和出产工艺有必要要尽或许地和集成电路的规范硅平面工艺共同。可以在正常工艺流程的投片前，或流程中，或工艺完结后添加一些特殊需求的工序，但也不该太多。
在一个封装中，把一只微机械压力传感器与模仿用户接口、8位模-数转化器（SAR）、微处理器（摩托罗拉69HC08）、存储器和串行接口 （SPI）等集成在一个芯片上。其前端的硅压力传感器是选用体硅微细加工技能制造的。制备硅压力传感器的工序既可安排在集成 CMOS 电路工艺流程之前，亦可在后。这种智能压力传感器的技能和商场都已老练，已广泛用于轿车（机动车）所需的林林总总的压力丈量和操控单元中，比如各种气压计、喷嘴前集流腔压力、废气排气管、燃油、轮胎、液压传动设备等。智能压力传感器的运用很广，不局限于轿车工业。现在，出产智能压力传感器的厂商已不少，市售产品的种类也许多，现已呈现剧烈的竞赛。结果是智能压力传感器体积越来越小，随之操控单元所需的外围接插件和分立元件越来越少，但功用和功用却越来越强，并且出产本钱下降很快（现在约为几美元一只）。
趁便需求说说的是，在一些中文资猜中，尤其是一些产品宣传性资猜中，抽象地将Smart Sensor(或device)和Intelligent sensor（或device）都称之为智能传感器，但在欧美文献中是有所不同的。西方专家和大众一般以为，Smart（智能型）传感器比Intelligent(常识型)的才智层次和才能更高。当然，常识型的内在也在不断进化，但那些只能简略呼应环境改动，作一些相应补偿、调整作业状况的，特别是不需求集成处理器的器材，其常识等级太低，一般不该归入智能器材范畴。
信任大大都读者能常常接触到的，最贴近日子的智能传感器或许要算是用于摄像头、数码相机、摄像机、手机摄像中的CCD图画传感器了。这是一种非智能型传感器莫属的状况，由于CCD 阵列中每个硅单元由光转化成的电信号极弱，有必要直接和及时移位存放、并处理转化成规范的图画格式信号。还有更杂乱一些的，在中、高级长焦距（IOX）光学扩大数码相机和摄像机上配备的电子和光学防抖体系，特别是高端产品中的真实光学防抖体系。它的中心是双轴向或3轴向的微加速度计或微陀螺仪，经过它监测机身的颤动，并换算成镜头的各轴向位移量，从而驱动镜头中可变视点透镜的移动，使光学体系的折射光路保持安稳。
微体系（Microsystem）和MEMS（微机电体系）-由微传感器、微电子学电路（信号处理、操控电路、通讯接品等）和微执行器构成一个三级级联体系、集成在一个芯片上的器材称之为微体系。假如其间具有机械联动或机械执行机构等微机械部件的器械则称之为MEMS。
MEMS芯片的左边给出的是制备MEMS芯片需求的根本工艺技能。它的右侧则为首要运用范畴罗列。很明显，MEMS 的最好解决计划也是选用与硅工艺兼容的资料及物理效应、规划理念和工艺流程，也即选用惯例规范的CMOS 工艺与二维、三维微细加工技能相结合的办法，其间也包含微机械结构件的制造。
微传感器合乎逻辑的开展延伸是智能传感器，智能传感器天然延伸则是微体系和MEMS，MEMS 的进一步开展则是可以自主接纳、分辩外界信号和指令，从而能独立、正确动作的微机械（Micromachines）。现在，开发成功、并已有商业产品的MEMS种类已不少，包含图4所示的各大范畴。其间包含全光光通讯和全光计算机的要害部件之一的二维、三维MEMS光开关。
经过操控芯片上的微反射镜阵列，完结光输入/输出的穿插互联。这是现在全光交流技能的老练的最佳计划。商场上可买到的MEMS光开关已达1296路，开关转化时刻约为20ms。
微机械（也称为纳米机械）则尚处于开发实验阶段，但已有许多很重要的实验室产品出现，如闻名的纳米电机、微昆虫、微直升机和潜水艇等。技能工业界遍及以为，它们的开发成功和投入实践运用将对工业技能和日子质量发生深远的影响。
