仅监测ID的OTF办法
一种常用的OTF办法是仅监测漏极电流。这种办法在漏极施加小偏压（一般为25～100mV）并接连进行漏极电 流丈量，如图1所示。在此办法中，接连的采样速率十分 要害。用2600系列源表能完成90μs接连采样距离以及能 存储多达50,000数据点的仪器缓冲区。
这种办法的一个重要长处是，在吊销应力后能够在很 短时刻内收集到BTI康复动态的机制，如图2右部所示。已 经发现，康复动态比劣化动态关于工艺误差表现出更大的 易变性和敏感性。
即时单点法
此办法十分类似于仅监测ID 的办法，区别是在线性 区域丈量ID。这儿的要害是经过缩短丈量时刻最大程度 减小劣化康复时刻。运用吉时利2600系列源表能够完成仅约200μs的栅极电压中止。
即时VTH法
一些研究人员或许注意到许多OTF办法采用了与重视 参数联系甚远的直接VTH 丈量技能。例如，间歇期丈量仅 监测ID不能很好地调查VTH 实践偏移，由于其它参数偏移 （例如界面态劣化形成的移动性劣化）也或许影响ID，这 与VTH 影响的ID 无关。
OTF VTH 法仅仅将Denais OTF办法中的3次测 量替换为以gm-max 为中心的一些扫描点，如图4所示。取决于 测验体系的噪底、源树立速度和丈量积分速度，这样提取 的VTH 潜在地要比仅从3个丈量点外插得到的VTH 精确。
完成
本应用笔记介绍的丈量已用2600系列源表完成过。一 台带有双4象限源-丈量单元和嵌入式脚本处理器的2612能 独立履行完好的BTI特性剖析。除了本文介绍的比如外， 2612还能进行更杂乱的测验，例如Parthasarathy等人提出 的“IV OTF偏压形式”。4 2600系列仪器嵌入的测验脚本语言能灵敏地完成上述杂乱测验。并且，吉时利供给的免费 测验脚本实例能加快用户集成计划的开发。
通道扩展
2600系列源表的架构针对可扩展性进行了优化。在实 验室或出产环境中，可扩展性简化了多通道并行体系的构 建和快速NBTI测验的履行。欲获悉体系扩展攻略，请拜见 名为“Meeting New Challenges in Wafer Level Reliabi -lity Testing using Source-Measure Units (SMUs)[用源-丈量单元（SMU）迎候晶圆级可靠性测验新应战]”的在 线归档攻略。可从吉时利网站下载该攻略www.keithley. com/events/semconfs/webseminars，并在www.keithley. com获取其它信息资源。 4
定制体系
吉时利能将多台2600系列仪器集成为完好的BTI测验计划。当结合4200-SCS和脉冲I-V选 件（4200-PIV）运用时，这些计划能对偏压温 度不稳定性机制完成史无前例的深化观测。供给的全自动晶匣级晶圆自动化功用能收集计算 意义上极大规划的样品。
