MEMS惯性导航在曩昔数十年内得到了迅速发展，在无人体系范畴内得到了越来越多的使用，其作为未来惯性导航的首要发展方向，正在展现出强壮的潜力以及杰出的使用远景。
无人机
在近几年来，微小型无人机在军用以及民用范畴内发挥着越来越重要的效果，而为了完成无人机本身的定位以及定位问题，航姿测控体系发挥着至关重要的效果。航姿测控体系首要由GPS天线、GPS接纳板、捷联式磁传感器、惯性丈量单元、高度空速传感器以及调度单元构成。传感器的精度直接决议无人机位姿的精度，传感器收集到的数据经过导航算法计算出无人机的方位姿势信息。
现在无人机的导航首要采纳将MEMS惯性导航体系与GPS组合的手法，这样既可以进步体系精度，又可以缩短初始对准的时刻。现在无人机上面搭载的导航体系精度为消费级，如InvensenseMP6500的精度为2°/s，而跟着MEMS器材精度的进步以及本钱的下降，未来无人机的导航精度将进步。
无人车
无人车是经过车载传感器来感知外界环境，而且获取车辆方位、姿势信息以及障碍物信息，然后操控车辆行进速度、转向以及起停等。
当无人车行走到巨大建筑物下，且GPS被遮挡而无法正常作业时，无人车上搭载的惯性导航体系短时刻内的精度可以满意车辆自主前行的需求。无人车上的MEMS惯性导航体系，一般精度要求较高。
无人船
因为边境巡查、水质勘探等使命所采纳一般的舰船设备较为风险而且本钱较高，致使无人船技能发展迅速。获取无人船方位姿势信息是无人船可以自主开展作业的重要条件。
现在无人船上装备的传感器首要有GPS，MEMS惯性导航体系及避障雷达等。跟着MEMS惯性导航体系精度的进步，惯性导航体系在无人船的方位姿势信息获取中发挥着至关重要的效果。无人船上搭载的MEMS惯性导航体系，一般消费级的中低精度即可满意需求。
MEMS惯性导航除了使用在咱们日子的环境里，完成各种无人操作。未来，跟着MEMS惯性导航精度和稳定性不断进步，MEMS惯性导航技能还必将会使用在航空航天范畴，如航天器、卫星等无人体系中，成为重要的一员。
