漏流是施加电压时经过(走漏)电阻的差错电流。当DUT的阻抗与测验电路中绝缘体的阻抗相其时，该差错电流就会成为问题。为减小漏流，在测验电流中选用高质量的绝缘体、下降测验实验室的湿度，并选用维护。
维护是由一个低阻源驱动的导体，其输出为或挨近高阻端子的电势。维护端子用于维护测验夹具和电缆绝缘电阻和电容。维护是三轴衔接器/电缆的芯屏蔽，如图10所示。
图10. 4200三轴衔接器/电缆的导体
请勿混杂维护和屏蔽。屏蔽一般意味着选用金属护栏避免静电搅扰影响高阻电路。维护则意味着运用添加的低阻导体，将其保持在于高阻电路相同的电势，它将阻拦任何搅扰电压或电流。维护不一定供给屏蔽。下图
为维护的两个比如：1)使用维护下降测验夹具导致的漏流，而2)则使用维护下降因为电缆衔接发生的漏流。
图11所示为维护消除可能会经过测验夹具内阻隔绝缘体的原理。在图11a中，漏流(IL)经过阻隔绝缘体(RL)。该漏流添加至来自于DUT (IDUT)，然后被SMU安培计测得(IM)，对小电流丈量的准确度形成晦气影响。
图11.使用维护减小测验夹具中的漏流
在图11b中，金属装置板被衔接至SMU的维护端子。阻隔绝缘体顶部和底部的电压挨近相同电势(0V压降)，所以在阻隔绝缘体中就不会有漏流影响丈量准确度。因为金属装置板将处于维护电势，所认为安全起见，金属屏蔽有必要衔接至地。
