当熔融的单质硅凝结时,硅原子以金刚石晶格排列成许多晶核，假如这些晶核长成晶面取向相同的晶粒，则构成单晶硅。假如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒，则构成多晶硅。
1）碳复原法
在电弧中，使用纯度在99%以上的石英砂和焦炭或木炭在2000℃左右进行复原反响，可生成多晶硅。
2）三氯氢硅氢复原法 
3）硅烷热分解法 
4）四氯化硅氢复原法 
多晶硅资料的制备
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