①光栅读数头的根本组成部分。光栅读数头由光源1、照明体系2,主光栅3、指示光栅4、光学体系5和光电接纳组件6等部分组成,如图1所示。
光源宣布的光束通过照明体系(聚光镜)后成为均匀的平行光照明主光栅。因为主光栅和指示光栅之间的相对运动(丈量运动)而输出交变的莫尔条纹信号,此信号通过光学体系(物镜)集聚到光电接纳器,并转换成反映莫尔条纹特性的电信号供光电计数及细分用。
1一光源 2一照明体系 3一主光栅 4一指示光栅 5一光学体系 6一光电接纳组件
图1 光栅读数头的组成
②光栅读数头的分类。光栅读数头的型式许多,按结构布局特色能够分为直读式、分光式、镜像式和调相式等四类。按光栅的工作条件能够分为透射式和反射式两类。若按光栅的方式能够分为相位型光栅读数头和振幅型(是非)光栅读数头号。图2为光栅读数头的分类框图。
图2 光栅读数头分类