前期选用TiO2膜或MgF2/ZnS混合膜以增加对入射光的吸收，但该办法均需先独自选用热氧化办法成长一层10～20umSiO2使硅片外表非晶化、且对多晶作用不抱负。SixNy膜层不只减缓浆猜中玻璃体对硅的腐蚀按捺Ag的分散速度然后使后续快烧工艺温度规模更宽易于调理，并且细密的 SixNy膜层是有害杂质杰出的阻挡层。一起生成的氢原子对硅片具有外表钝化与体钝化的两层作用，能够很好地修正硅中的位错、外表悬挂键，进步了硅片中载流子的迁移率因此敏捷成为高效电池出产的干流技能。双层SiN减反射膜，经过操控各膜层中硅的富集率完成了5.5%的反射率;而另一种SiN与SiO混合膜，其反射率更是低至4.4%，现在广泛选用的单层SiN膜减反射率最优为10.4%.
在电池反面成长一层10～30nmSiN膜以期最大极限对电池进行钝化与缺点的修正然后进步电池的功率是现在的一个热门课题，因为该技能牵涉到与后边的丝网印刷技能、电极浆料技能及烧结工艺的合作现在尚处于试验研讨阶段，但它肯定是往后的一个发展趋势。
匹配封装资料对光谱的折射率定制减反射膜以取得最佳的实际使用作用是光伏企业技能实力的表现!怎么削减电磁波对电池外表PN结辐射损害以及损害的有用修正是该工艺的核心技能，处理欠好往往导致电池功率一致性较差。配备方面有接连式直接HF-PECVD、管式直接LF-PECVD。(作者：和海相同的新能源)
