维护亦可用于减小电缆衔接中的漏流。图12所示为驱动维护避免电缆的漏泄电阻影响小电流丈量的原理.在无维护的装备中，同轴电缆的漏阻与DUT并联(RDUT)，发生不期望的漏流(IL)。该漏流将影响极小电流的丈量。
在维护电路中，三轴电缆的内芯屏蔽被衔接至SMU的维护端子。现在，该屏蔽由一个单位增益低阻放大器(维护)驱动。Force HI端子和维护端子之间的电势差挨近0V，所以漏流(IL)可忽略不计。
图12.运用维护减小电缆衔接中的漏流
为了检查丈量极高电阻时三轴电缆和同轴电缆的成果，图13中绘出了选用10V阶跃函数丈量100GΩ电阻的丈量电流和时刻的联系图。三轴电缆经过运用维护，以两种方法改进了丈量：1)它减小了有用电缆%&&&&&%，然后降低了丈量的RC时刻常数或树立时刻；2)避免电缆中的漏流对丈量准确度形成晦气影响。
图13.运用同轴电缆和三轴电缆丈量高阻的成果比较
从图13可知，运用带有维护的三轴电缆进行丈量，漏流较小(低几个pA)，树立时刻更短(大约快10倍)。假如SMU有必要衔接至选用BNC衔接器的测验夹具，请在SMU和测验夹具之间运用吉时利三轴电缆，然后再将BNC衔接至三轴适配器(去掉了维护)，然后将电缆衔接至测验夹具。
