提到集成电路，或许大多数人都是“一头雾水”，不过，在咱们日子傍边可处处离不了它，计算机、互联网、移动通讯、多媒体、手机、电视、相机、轿车等各个领域都必不可少。在适当长的一段时间里都只能从美日德等国进口。不过，北京晨报记者日前从北京经济技能开发区了解到，到本年11月，中芯世界北京厂运用国产设备加工的12寸正式产品晶圆加工打破一千万片次，这标志着国产设备在大出产中的充沛验证和市场化，国产设备技能和市场竞争力迈上了一个新台阶。
北京经济技能开发区有关负责人表明，区域的集成电路工业链布局为完成芯片制作设备国产化奠定了坚实根底，现在，开发区已构成集制作、封测、配备、零部件及资料、规划企业在内的齐备工业链，集成电路工业规划占北京市的1/2。
12寸集成电路国产设备是完成我国集成电路芯片自主制作的根底，设备要求高，体系杂乱，适当长的一段时间内，主要由美日德等原设备供货商供给，国内没有老练的出产链。2008年，国家科技严重专项02专项安排“产学研”联合开发，把方针直接定在世界上最先进的40纳米和28纳米技能节点，并由职业的龙头企业来牵头。
跟着专项的顺畅施行，集成电路出产制作要害设备完成国产化并为国产设备在我国集成电路工业链中的大面积运用翻开了局势。2015年，中芯世界北京厂国产化出产设备进入晶圆产品量产阶段，新增国产设备主机台及隶属机台数百台，包含干法刻蚀机、物理气相淀积设备、单片退火炉设备、单片清洗机、中束流离子注入机、化学气相淀积设备、分片机设备等等。这些国产设备超卓地通过了28纳米-90纳米技能节点的大出产线验证，与进口设备肩并肩满负荷出产。本年11月，中芯世界北京厂国产设备出产12寸晶圆打破“千万大关”。
中芯北方副总经理张昕介绍说，大出产方针是彻底正确的，但应战也是最大的，参加企业和科研单位从开发理念到管理方法都有必要全面更新。在科研上，以往的探究式研讨只需要单点打破，一百次测验有一次成功就能够宣告成功了。现在要供给大出产技能，有必要一百次都成功，并且成功的效果还有必要彻底相同，发散一点儿都不能够。在配备的规划上，以往都是自己在试验室里凭空捏造，构成一个“铁箱子”，然后搬到工厂里去，不可再搬回来改。现在要预先知道出产的具体要求是什么，随时改善，共同开发。
记者注意到，中芯世界北京厂运用的国产设备中，有适当一部分都产自开发区。拿与中芯世界北京厂“比邻”的北方华创来说，其已成功开发了以刻蚀设备（ETCH）、化学气相堆积设备（CVD）、物理气相堆积设备（PVD）三大类半导体配备产品为根底的20余类产品，成功代替国外厂商同类产品。
北京经济技能开发区出资促进局局长王延卫介绍说，北京经济技能开发区作为国内重要的集成电路工业基地，已构成集制作、封测、配备、零部件及资料、规划企业在内的齐备工业链。集成电路工业规划现已占到全市的1/2，率先在国内建成首条12英寸集成电路出产线，一批代表企业及研讨机构承接了系列国家严重科技专项使命，在要害配备及资料、先进工艺的开发及工业化等方面获得一批代表国家最高水平的效果，为我国集成电路工业完成自主开展奠定了坚实根底，也确立了北京在全国集成电路工业布局中的领先地位。
