1、压阻式压力传感器
压阻式压力传感器的首要组成部分是电阻应变片,电阻应变片是一种将被测件上的应变改动转化成为一种电信号的灵敏器材。它运用最多的是金属电阻应变片和半导体应变片两种。压阻式压力传感器是将应变片通过特别的粘和剂严密的粘合在产生力学应变基体上,当基体受力产生应力改动时,电阻应变片也一同产生形变,使应变片的阻值产生改动,从而使加在电阻上的电压产生改动。这种应变片在受力时产生的阻值改动一般较小,一般这种应变片都组成应变电桥,并通过后续的外表扩大器进行扩大,再传输给处理电路(一般是 A/D转化和CPU)显现或执行机构。
2、陶瓷压力传感器
抗腐蚀的陶瓷压力传感器没有液体的传递,压力直接效果在陶瓷膜片的前外表,使膜片产生细小的形变,厚膜电阻印刷在陶瓷膜片的反面,连接成一个惠斯通电桥 (闭桥),因为压敏电阻的压阻效应,使电桥产生一个与压力成正比的高度线性、与鼓励电压也成正比的电压信号,规范的信号依据压力量程的不同标定为2.0 / 3.0 / 3.3 mV/V等,可以和应变式传感器相兼容。通过激光标定,传感器具有很高的温度稳定性和时刻稳定性,传感器自带温度补偿0~70℃,并可以和绝大多数介质直接触摸。高特性,低价格的陶瓷传感器将是压力传感器的发展方向,在欧美国家有全面代替其它类型传感器的趋势,在我国也越来越多的用户运用陶瓷传感器代替分散硅压力传感器。
3、分散硅压力传感器
分散硅压力传感器作业原理被测介质的压力直接效果于传感器的膜片上(不锈钢或陶瓷),使膜片产生与介质压力成正比的微位移,使传感器的电阻值产生改动,和用电子线路检测这一改动,并转化输出一个对应于这一压力的规范丈量信号。
4、蓝宝石压力传感器
蓝宝石压力传感器是运用应变电阻式作业原理,选用硅-蓝宝石作为半导体灵敏元件,具有无与伦比的计量特性。蓝宝石系由单晶体绝缘体元素组成,不会产生滞后、疲惫和蠕变现象;蓝宝石比硅要巩固,硬度更高,不怕形变;蓝宝石有着非常好的弹性和绝缘特性(1000 OC以内),因而,运用硅-蓝宝石制作的半导体灵敏元件,对温度改动不灵敏,即便在高温条件下,也有着很好的作业特性;蓝宝石的抗辐射特性极强;别的,硅 -蓝宝石半导体灵敏元件,无p-n漂移,因而,从根本上简化了制作工艺,提高了重复性,保证了高成品率。用硅-蓝宝石半导体灵敏元件制作的压力传感器,可在最恶劣的作业条件下正常作业,而且可靠性高、精度好、温度差错极小、性价比高。
5、压电压力传感器
压电效应是压电传感器的首要作业原理,压电传感器不能用于静态丈量,因为通过外力效果后的电荷,只要在回路具有无限大的输入阻抗时才得到保存。实践的状况不是这样的,所以这决议了压电传感器只可以丈量动态的应力。压电传感器中首要运用的压电资料包含有石英、酒石酸钾钠和磷酸二氢胺。其间石英(二氧化硅)是一种天然晶体,压电效应便是在这种晶体中发现的,在必定的温度规模之内,压电性质一向存在,但温度超越这个规模之后,压电性质彻底消失(这个高温便是所谓的“居里点”)。因为跟着应力的改动电场改动细小(也就说压电系数比较低),所以石英逐步被其他的压电晶体所代替。而酒石酸钾钠具有很大的压电灵敏度和压电系数,可是它只能在室温文湿度比较低的环境下才可以运用。磷酸二氢胺归于人工晶体,可以接受高温文适当高的湿度,所以现已得到了广泛的运用。