MEMS器材，尤其是MEMS传感器已成为智能手机中的规范装备。苹果iPhone和Research in Motion （RIM）的Blackberry Storm等热销机型，以及三星的Omnia、HTC的Diamond和诺基亚都选用了惯性传感器。不过截止日前部分手机类型现已筛选中止出产了。
一起，智能手机使用软件日益巨大的生态系统很大程度上要归功于MEMS传感器。事实上，因为智能手机永久在线的互联网拜访和传感器技能的不断发展，智能手机正在快速变成地球上最大的无线传感器网络。
智能手机中选用MEMS技能加工的传感器、执行器和光学器材首要如下，如图1所示。
加速度计、陀螺仪、电子罗盘：惯性丈量单元（IMU）完成室内导航。加速度计还可以完成自由落体检测、歪斜操控、计步器、手势检测、单击/双击检测、画面翻转等功用。陀螺仪还可以完成图画防抖、增强实际等功用。
压力传感器：供给多层建筑及商场的准确高度数据，推动LBS服务。
硅微麦克风：比较传统的电容式麦克风，硅微麦克风可以选用表贴工艺进行制作，可以接受很高的回流焊温度，容易与CMOS工艺及其它音频电路相集成，并具有改善的噪声消除功用与杰出的RF及EMI按捺功用。
MEMS微镜：微投影仪。
CMOS图画传感器、主动对焦执行器：照相机/摄像机。
环境光感测器：使用优势是协助手机节约显示屏功耗，添加电池的工作时间。最新的光感测器包含了更多功用，如光谱响应与动态规模、集成挨近勘探，以及数字通信等。
挨近传感器、微型显示器：具有接触灵敏度的显示屏。
MEMS振荡器、RF开关：蜂窝无线模块。
责任编辑；zl
