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压阻式压力传感器作业原理

本站为您提供的压阻式压力传感器工作原理,当传感器处在压力介质中时,介质压力作用于波纹膜片上,其中的硅油受压,硅油将膜片的压力传感给半导体芯体。受压后其电阻值发生变化,电阻信号通过引线引出。不锈钢波纹膜片壳体感受压力并保护芯体,因而压阻式压力传感器能在腐蚀性的介质中感应压力信号。

压阻式压力传感器是运用单晶硅的压阻效应而构成。选用单晶硅片为弹性元件,在单晶硅膜片上运用集成电路的工艺,在单晶硅的特定方向分散一组等值电阻,并将电阻接成桥路,单晶硅片置于传感器腔内。当压力发生改变时,单晶硅发生应变,使直接分散在上面的应变电阻发生与被测压力成正比的改变,再由桥式电路获相应的电压输出信号。

压阻式压力传感器运用

压阻式传感器是用于这方面的较抱负的传感器。例如,用于丈量直升飞机机翼的气流压力散布,测验发动机进气口的动态畸变、叶栅的脉动压力和机翼的颤动等。在飞机喷气发动机中心压力的丈量中,运用专门规划的硅压力传感器,其作业温度达500℃以上。在波音客机的大气数据丈量体系中选用了精度高达0.05%的配套硅压力传感器。在尺度缩小的风洞模型试验中,压阻式传感器能密布安装在风洞进口处和发动机进气管道模型中。单个传感器直径仅2.36毫米,固有频率高达300千赫,非线性和滞后均为全量程的±0.22%。在生物医学方面,压阻式传感器也是抱负的检测工具。

已制成分散硅膜薄到10微米,外径仅0.5毫米的注射针型压阻式压力传感器和能丈量心血管、颅内、尿道、子宫和眼球内压力的传感器。图3是一种用于丈量脑压的传感器的结构图。压阻式传感器还有效地运用于爆破压力和冲击波的丈量、真空丈量、监测和操控轿车发动机的功能以及比如丈量枪炮膛内压力、发射冲击波等武器方面的丈量。此外,在油井压力丈量、随钻测向和测位地下密封电缆毛病点的检测以及流量和液位丈量等方面都广泛运用压阻式传感器。跟着微电子技术和计算机的进一步开展,压阻式传感器的运用还将迅速开展

压阻式压力传感器作业原理

压阻式压力传感器作业原理:

当传感器处在压力介质中时,介质压力效果于波纹膜片上,其间的硅油受压,硅油将膜片的压力传感给半导体芯体。受压后其电阻值发生改变,电阻信号经过引线引出。不锈钢波纹膜片壳体感触压力并维护芯体,因此压阻式压力传感器能在腐蚀性的介质中感应压力信号。

压阻式压力传感器一般经过引线接入惠斯登电桥中。平常灵敏芯体没有外加压力效果,电桥处于平衡状况(称为零位),当传感器受压后芯片电阻发生改变,电桥将失去平衡。若给电桥加一个稳定电流或电压电源,电桥将输出与压力对应的电压信号,这样传感器的电阻改变经过电桥转化成压力信号输出。出现在大部分压力传感器用制作集成电路的办法,构成四个电阻值持平的电阻条,并将它们衔接刻制成惠斯登电桥。惠斯登电桥选用恒流供电,这样电桥的输出不受温度的影响,惠斯登电桥检测出电阻值的改变,经过差分一化扩大器,输出扩大器扩大后,再经过电压电流的转化,变换成相应的电流信号,该电流信号经过非线性校对环路的补偿,即发生了输入电压成线性对应联系的4~20mA的规范输出信号。

压阻式压力传感器作业原理

为减小温度改变对芯体电阻值的影响,进步丈量精度,压力传感器都选用温度补偿办法使其零点漂移、灵敏度、线性度、稳定性等技术指标坚持较高水平。

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